本發明介紹一種粉末冶金鎢接點。其屬汽車電器元件領域.已有鎢接點的生產是採用鎢坯垂熔燒結、旋鍛成棒,再切割成片的方法。

特點：工藝簡單，只需五道工序，通過添加其他成分,提高了產品的抗氧化性能並防止了鎢接點使用時發生物質轉移，平均使用壽命達到41300公里/副接點，因此本發明鎢接點可廣泛用於汽車電器和其他電器儀錶上。

缺點：工藝流程長、一般需二十道工序、易氧化、使用時發生物質轉移，需經常打磨。而本發明鎢接點採用粉末冶金工藝生產。其特徵在於以鎢為主要成 分，添加其他成分如Ni、Co、Cr。

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本發明提供一種燈泡鎢絲打壓定位方法。步驟如下：

1）將鎢絲兩端分別打壓、定位在燙珠的合金片和鍍鎂絲的兩端；

2）將所述的鍍鎂絲彎折一角度，離開合金片一距離，用定位機構將鎢絲兩端直接打壓定位在合金片的較寬平面與鍍鎂絲彎折端的末端；

3）最後將彎折的鍍鎂絲還原，從而提高產品的品質和生產效率。

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本發明提供一種改進的鎢插銷結構的工藝流程。傳統的鎢插銷工藝是隨著積體電路工藝特徵線寬縮小的要求而發展起來的，主要解決鋁物理氣相沉積而產生的現象。步驟如下：

1）採用物理氣相沉積的方法澱積鎢和其化合物作為擴散阻擋層；

2）經退火後，僅用氫氣還原六氟化鎢的化學氣相沉積方法填充接觸孔（CONTACT）和對接孔（VIA），形成鎢插銷（PLUG）結構。

該技術從而簡化了流程，提高了生產率，降低了費用，提高了安全性，具有填充效果好、集成度高的特點。但是，該技術同時存在工藝複雜、價格昂貴、生產效率低和控制困難的問題，其中較為突出的是在鈦和氮化鈦澱積、鎢的化學氣相沉積方法中需要多步進行而導致的問題。

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本發明提供一種可減少微刮痕的鎢金屬的化學機械研磨方法。步驟如下：

1）提供一半導體基底，其包含有至少一鎢插塞及一內金屬介電層；

2）鎢金屬的化學機械研磨制程的前段研磨，採用標準鎢研磨漿，於該鎢插塞及該介電層的研磨表面上進行； 

3）鎢金屬的化學機械研磨制程的後段研磨，採用一氧化物研磨漿（使用氧化物研磨漿可有效減少介電層表面的微刮痕數量），於該鎢插塞及該介電層的研磨表面上進行。

本發明可以避免元件中產生斷路的情形，防止金屬內連線之間產生高漏電流的問題，確保半導體元件的電性品質。

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本發明提供一種形成鎢佈線的方法。在將形成金屬佈線處形成刻蝕阻擋層用作掩模，以減少對鎢結層的厚度限制。步驟如下：

1）在半導體襯底上形成金屬佈線；

2）形成適當的光致抗蝕劑膜圖形，以暴露金屬佈線層上相應于將形成金屬佈線的部分；

3）固化光致抗蝕劑膜圖形；

4）在金屬佈線層暴露的部分上選擇性地形成金屬薄膜；

5）利用氯基等離子體對金屬薄膜進行處理，從而形成金屬氯化物薄膜；

6）除去光致抗蝕劑膜圖形；

7）將金屬氯化物薄膜作為掩模對金屬佈線層進行刻蝕；

8）除去金屬氯化物薄膜形成鎢佈線。

本發明提供足夠的工藝餘量，從而實現提高半導體器件的可靠性和集成度。

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本發明提供一種鎢基高比重合金板的製備方法。步驟如下：　　　　

1）將Fsss費氏平均粒度在2.8~3.2μｍ的鎢（W）粉與鎳（Ni）粉、鐵（Fe）粉、微量的鈷（Co）粉和釔（Y）粉混料機內混料壓坯；

2）將坯料在氫氣體保護下，燒結爐內在以15℃/min速率升溫至1490℃~1500℃保溫2小時制得板坯；

3）將制得的板坯用不銹鋼板作為包套材料，進行包套軋製。

注：軋製溫度為700℃~900℃，開坯時第一道次的加工率為25%~30%，隨後每道次加工率為18%~23%，總加工率達45%~50%時在真空度為6×10^-3Pa，溫度為1000℃~1250℃條件下，保溫1~2ｈ進行真空熱處理來消除應力；隨後選擇在700℃~900℃進行軋製，每道次加工率達到20%~25%之間，總加工率達到70%~80%時可獲得良好的中間板材；再採用1000℃~1100℃溫度退火，進行最終軋製後。

本發明獲得的鎢基高比重合金板具有優異機械性能，可廣泛應用於醫療電子、核軍工、化學冶金、機械加工等行業的生產流程少，適於批量化生產W-Ni-Fe板材。

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本發明提供一種鎢基高比重合金薄板的製備方法。步驟如下：

1）配粉：按擬製備合金材料的成分百分比要求，將鎢及其它合金粉末進行稱重配比，並進行均勻混合；

2）制粒：把小顆粒的混合粉末，添加適量的粘結劑，製成流動性好的糰粒；糰粒粒度控制在20~100μm；

3）粉軋製坯：採用粉末軋機，將制粒後合金粉末製成1~3mm厚的薄板坯；

4）高溫燒結：在氫氣保護氣氛爐中，在1450℃~1500℃進行1~5小時的液相高溫燒結；

5）冷軋：通過板材軋機進行冷軋加工即可制得鎢基高比重合金薄板。

本發明的有益效果是：週期短；能耗低；無污染；成品率高；設備投資小；佔用場地小；可應用到生產中。

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本發明提供一種碳化鎢基硬質合金粉末的製備方法。其涉及塑性成形技術、粉末冶金技術和快速成形技術。組分及其品質百分比含量如下：WC：86~95%，Co：4~8%，Al：1~3%，Ti-C：0~2%，VC：0~2%，其餘為不可避免的微量雜質。步驟如下：

1）按上述原料粉末用量分批投料預球磨，直至球磨粉末中WC粉末顆粒細化至亞微米或納米級，Co-Al相均勻分佈，所有組分充分混合後再高能球磨至Co-Al相均勻包覆WC相；

2）採用電流快速燒結法成形固結球磨碳化鎢基硬質合金粉末。

本發明不僅可以節約戰略資源鈷和降低材料成本，而且該材料還達到了工業應用水準，有良好的推廣應用前景。

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本發明提供一種鎢鈷鈦硬質合金的製備方法，包括將碳化鎢碳化鈦的複式碳化物與碳化鎢粉、鈷粉經配料、球磨、乾燥、摻成型劑、壓制成型和燒結等步驟。步驟如下：

1）複式碳化物中TiC與WC的重量比為30：70~40：60，在配料時Ti的含量為（4.8~5.3）wt%，並且選用（1.2~1.8）μm與（6~8）μm的WC粉按80：20～60:40的重量比搭配；

2）在配料時Co的含量控制在7.7~8.3wt%，加入0.5~2.0wt%的Ni。

使用該方法製備的鎢鈷鈦硬質合金既能解決硬質合金刀片在使用時磨損過快和易燒刀等問題，又不增加粘結金屬Co的含量，降低鎢鈷鈦硬質合金的成本。

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本發明提供一種碳化鎢碳化鈦鈷硬質合金複合粉末的製備方法。複合粉末的重量成分範圍在WC55~75%、TiC15~35%、Co餘量，步驟如下：

1）將含鎢、鈷、鈦的可溶性鹽按比例溶于水中，攪拌均勻；

2）將上述溶液霧化成小液滴，液滴尺寸小於１μｍ，同時用熱空氣乾燥造粒，進氣溫度20~300℃，出氣溫度100~200℃；

3）將收集到的粉末在600~800℃陪燒1~5小時，再進行WC-TiC-Co硬質合金複合粉末。

本發明可以大大減省現有的工藝，並且所製備出的碳化鎢碳化鈦鈷硬質合金複合粉末成分和組織均勻，粒度可達到納米級水準。

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