太阳能控制玻璃之氧化钨涂层

太阳能控制玻璃就是透过高百分数入射光和较低百分数的总入射辐射能量(总太阳能热量)的玻璃。生产这种玻璃的一种方法是在玻璃上沉积包含一层或数层各种材料的涂层，特别是金属氧化物，例如氧化钨，所述的层通常具有亚微米范围内的厚度。

太阳能控制涂层的金属氧化物是氧化钨，用于玻璃上的金属氧化物涂层的方便的沉积方法是在线化学气相沉积，它包括在生产玻璃带时把含金属的化合物气流和含氧气体(经常是水)引入到热玻璃带上，气流的各成分在热玻璃表面一起反应并沉积金属氧化物层。

对于涂敷过程，高涂层生长速度是希望的。为了在氧化钨层的化学气相沉积中获得这种高涂层生长速度，这就需要钨的化合物具有较高的挥发性(有助于获得钨化合物到玻璃表面的良好转移)，和良好的热稳定性(减少在到达玻璃表面之前的热分解)。所以，研究人员将卤氧化钨或氯化钨和氧源的气流引入到玻璃基底表面上，在玻璃基底表面上沉积含氧化钨的涂层。

1、在玻璃生产过程中，向移动的浮法玻璃带上通过在槽中的层流化学气相沉积工艺涂敷涂层，玻璃带的涂敷宽度为10厘米，然后0使用水冷石墨头涂敷器在玻璃上沉积氧化硅底层，

2、沉积氧化钨涂层沉积：将携带有WOCl₄，相混合形成前体气体混合物，补充5.5升/分钟的氮气，并且加入氧气，稀释前体气体混合物，稀释的前体气体混合物通过设备管线输送到反应器，该管线保持在200℃的温度。稀释的前体气体混合物被引入到反应器内的加热的玻璃基底上，导致氧化钨涂层的沉积。

沉积过程持续运行时间为10或30秒，在沉积过程结束时，使镀膜玻璃在氮气中冷却到室温。通过标准光学和/或触尖法测量氧化钨涂层的厚度。氧化钨层可以用其它涂层覆盖，该其它涂层可以是金属氧化物层，优选的是氟掺杂的氧化锡。因为氧化锡可以防止氧化钨层退化，并且，如果该其它的层是氟掺杂的氧化锡，则具有提供太阳能控制涂层的附加优点，具有低发射率(高红外反射)，并且无论氧化钨层是否从卤氧化钨或氯化钨或其它物质形成都可以使用。

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