三氧化鎢（WO₃）薄膜可以通過適當能量的光輻照或者利用電場而呈現顏色，此稱為光致變色或者電致變色，在靈巧窗、大面積顯示幕及汽車反光鏡等方面具有潛在應用價值而引起人們的關注。WO₃薄膜的製備方法有電泳沉積法磁控濺射法、化學氣相沉積法、溶膠-凝膠法等。

電泳沉積（electrophoresis deposition）是指在穩定的懸浮液中通過直流電場的作用，膠體的粒子沉積成材料的過程稱之為電泳沉積。例如對電泳塗料施加直流電壓，帶電荷的塗料粒子移動到陰極，並與陰極表面所產生的鹼性作用形成不溶解物而沉積於工作表面。因此電泳沉積包括兩個過程，其一是電泳，其二是沉積。整個電泳沉積過程分為以下四個步驟：

（1）電解：在陰極反應最初為電解反應，生成氫氣及氫氧根離子 OH，此反應造成陰極面形成一高鹼性邊界層，當陽離子與氫氧根作用成為不溶于水的物質，塗膜沉積：
（2）電泳動: 陽離子樹脂及 H+ 在電場作用下，向陰極移動，而陰離子向陽極移動過程；
（3）電沉積：在被塗工件表面，陽離子樹脂與陰極表面鹼性作用，中和而析出不沉積物，沉積于被塗工件上。
（4）電滲：塗料固體與工件表面上的塗膜為半透明性的，具有多數毛細孔，水被從陰極塗膜中排滲出來，在電場作用下，引起塗膜脫水，而塗膜則吸附於工件表面，完成整個電泳過程。

用雙氧水（H₂O₂）溶解一定量鎢粉，為防止溶液暴沸，H₂O₂分多次加入，溶解過程中不斷攪拌。待完全溶解後冷卻過濾，在濾溶液中加入適量濃硫酸（CH₃CH₂OH）和醋酸（CH₃COOH）以及表面性活劑，得到WO₃溶膠。電泳沉積在溫室下進行，電流密度用直流穩壓穩流儀器。電泳沉積法製備WO₃薄膜，即從基片為電極，通以電流在陰極可沉積WO₃薄膜，該方法通過控制沉積時間可得到所需的厚度，有操作簡單、可一次成膜、透明度高、膜層均勻和基底結合牢固的優點。

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在沉積金剛石塗層之後，對於金剛石塗層的相關性能檢測也同樣重要。其中的檢測主要在於兩個方面，其一是金剛石塗層的顆粒尺寸，另一個就是金剛石塗層材料與基體的結合力。

從理論上講，金剛石塗層為多晶結構，其晶體顆粒的尺寸大小在很大程度上決定了其表面粗糙度的大小（晶粒尺寸越小，加工後的表面粗糙度越低），而對於硬質合金拉拔模具來說，其表面粗糙度對其他各項綜合性能也起著極為重要的作用。在金剛石塗層應用於石墨加工工具的試驗中表明，當晶粒尺寸小於1μm時，加工工件的表面粗糙度＜1μm，而普通金剛石塗層加工工件的粗糙度大於2-3μm，且在工作使用中易出現顆粒脫落。此外，金剛石塗層還可採用微米晶粒與超細納米晶粒組合構成，通過SEM可清晰地觀察出來層與層之間的分界，這種組合可以滿足更高要求、高性能的硬質合金拉拔模具的使用效果。

另一項關於金剛石塗層與基體間結合力的檢測也是同樣必不可少的。金剛石塗層與硬質合金基體之間的結合強度是拉拔工作的基礎，若結合強度不高，則在一些高強度線材的拉拔過程中易造成金剛石塗層的脫落，從而導致模具失效。測試結合強度的方式是採用金剛石壓痕測試儀，即將金剛石壓頭壓入金剛石塗層表面，可見如下圖像：

由金剛石塗層壓痕照片，我們可以較為清晰地看出壓痕周圍未發生金剛石塗層的崩裂或脫落，壓坑中心部位金剛石塗層仍牢固結合在硬質合金表面測試中，接著將壓力加至1.5KN，金剛石塗層被破壞。相比傳統金剛石塗層製備工藝結合力的最高載荷低於600N，化學氣相沉積（CVD）顯然有著顯著的提高。

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三氧化鎢是鎢提取冶金過程中的一種重要的中間產物，是生產鎢粉及鎢相關的主要原料，通常通過煆燒仲鎢酸銨（APT）按獲得。微波具有內部快速加熱、選擇性加熱、可克服物料中的：“冷中心”，易實現自動控制、節能等特點，能有效地提高產品的優質率和合格率。與傳統生產三氧化鎢的工藝比較，微波煆燒時間短、成本低、熱效率高、能耗低、以及粉料不易洩露。

仲鎢酸銨是一種白色結晶，有片狀或針狀二種。稍溶于水，20℃時在水中溶解度小於2%，不溶於醇。將仲鎢酸銨加熱至220-280℃失去部分氨和結晶水，可轉化為偏鎢酸銨AMT，加熱至600℃以上失去全部氨和結晶水，徹底轉化為黃色的三氧化鎢。主要用於製造三氧化鎢或藍色氧化鎢制金屬鎢粉；金屬鎢粉的下游產品有鎢材系列，如鎢條、鎢絲等電真空材料；有合金系列，如碳化鎢、硬質合金、合金刀片、合金鑽頭、合金模具等；其他耐磨、耐壓、耐高溫的機械裝備部件等。

準確稱量乾燥過的試樣放入坩堝中，記錄物料重量W₁。使用改裝過的多模微波爐進行煆燒，記錄時間和功率，取出，冷卻後稱重，記錄資料為W₂。將W₁減去W₂，得到仲鎢酸銨的重量損失，計算實際失重率（%）。經過微波煆燒4分鐘，仲鎢酸銨的分解率為96.67%，並通過正交實驗得出微波煆燒的主要影響因素為物料品質，其次為煆燒時間和微波規律。在實驗範圍內的最佳條件為：微波功率650w，煆燒時間為4min，物料重量為10g。

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碳納米管編織的三氧化鎢薄膜及其製備方法和在太陽能電池中的應用，屬於納米材料製備技術領域。該複合薄膜由三氧化鎢和穿插於其中的網狀碳納米管薄膜組成。一方面，經碳納米管編織後三氧化鎢更加穩定，可實現三氧化鎢直接轉移，避免了傳統三氧化鎢轉移過程中高分子的引入帶來的殘膠及三氧化鎢破損；另一方面，碳納米管編織的三氧化鎢較單純三氧化鎢有更好的導電率，與矽形成的異質結太陽能電池具有更高的轉換效率。

化學氣相澱積[CVD(Chemical Vapor Deposition)]，指把含有構成薄膜元素的氣態反應劑或液態反應劑的蒸氣及反應所需其他氣體引入反應室，在襯底表面發生化學反應生成薄膜的過程。在超大型積體電路中很多薄膜都是採用CVD方法製備。澱積溫度低，薄膜成份易控，膜厚與澱積時間成正比，均勻性，重複性好，臺階覆蓋性優良。目前製備鎢塗層可採用物理或化學氣相沉積方法，或者將氣相沉積方法結合其他製備技術，提高鎢塗層的性能。

採用有序或無序碳納米管薄膜為模版，在有基底支撐或無基底存在的條件下，以有機金屬化合物為鎢源，通過化學氣相沉積法，在低溫下製備晶型、面積、取向度和膜厚可控的氧化鎢碳納米管薄膜。相對于傳統材料，三氧化鎢納米管薄膜保持了碳納米管原有的柔性和良好的透光性。