在半导体工业中，靶材组件是由符合溅射性能的靶材及能与所述靶材结合并具有一定强度的背板构成。背板可以在所述靶材组件装配至溅射基台中起到支撑作用，并具有传导热量的功效。例如，可以选用金属钨作为靶材，选用具有足够强度，且导热、导电性也较高的铜或铜合金材料作为背板以组成靶材组件。

大规模集成电路经常使用钨靶材进行真空溅镀，尤其需要使用大尺寸的钨靶材，目前的半导体领域中，大尺寸的钨靶材的直径为300mm～450mm，厚度为6mm～15mm。可是随着半导体行业的发展，需要更大尺寸的钨靶材。

仲钨酸铵是制备钨制品的重要原料。目前工业上生产钨粉的工艺主要是先将仲钨酸铵煅烧成蓝钨，然后在氢气中进行还原制备钨粉。这种方法制的钨粉粒度大多在2～4μm之间，已成为在军工和医疗器械等领域制备钨合金的主要原料。

模具是制造业的一种专用工具，也是一种基础工艺装备，用于成型各种金属或非金属材料，是实现少切削和无切削的不可缺少的工具。模具已广泛用于各个领域，如汽车、家用电器、仪表、电子、通信等，60%~80%的零部件都要依靠模具成形。本次主要介绍小连接板硬质合金模模的设计。

现今，模具制造技术飞速发展，对其加工质量的要求越来越高。模具材料性能的好坏和使用寿命的长短，直接影响加工产品的质量和经济效益。硬质合金模具有很高的硬度和弹性模量，良好的耐磨性和化学稳定性，并且具有较小的膨胀系数，硬质合金模具的使用寿命比模具钢提高几倍到几十倍。因此，许多模具材料由钢趋向于硬质合金。

1.冲击断口形貌
分析国内外两种冷镦螺钉用硬质合金模具的冲击断口宏观形貌，检测结果是国内两个厂家生产的冷镦螺钉用硬质合金模具的合金孔隙度较高，德国同类模具的合金孔隙度最低、尺寸最小。孔隙会导致冷镦模具寿命严重降低，合金组织中的表面孔隙(包括夹杂、非化合碳、相等)会加速磨损失效，内部孔隙则会加速裂纹扩展过程。通过解剖，发现德国模具用合金的孔隙度最低，故可认为孔隙度低是德国模具寿命较长的一个原因。提高国内该模具寿命的努力方向之一，就是降低其孔隙度，使其低于A04级甚至生产无孔合金。

国内冷镦螺钉用硬质合金模具的强度略高，硬度略低，而德国同类模具则相反。由于模具的硬度高，耐磨性相应也能较好，这是德国冷镦螺钉用硬质合金模具寿命高的另一个原因。两种模具的模套硬度基本相近。

目前，我国标准件生产中采用的硬质合金模具与T10钢模具比较，其使用寿命提高十几倍乃至几十倍，小规格螺钉等冷镦轧制中获得日益广泛的应用，但与国外硬质合金模具相比，国产小规格硬质合金模具存在明显差距，主要是使用寿命短，合金模具磨损严重。例如，冷墩半圆头一字槽螺钉或沉头十字螺钉用硬质合金模具，发达国家(德国，荷兰)模具的寿命可达900-1 000万次，国产模具的寿命仅为200-400万次，并且存在质量不够稳定等问题。对此，我们对国内两个厂家生产的冷镦螺钉用硬质合金模具和德国某厂家生产的同种模具的使用寿命和结构进行分析。

多通道铝扁管用的硬质合金模具，使用寿命较长，但其结构复杂，制造难度大，并且是用硬质合金材料制造的。目前已经克服了模具制造技术和设备上的诸多困难，形成了比较完整的连续挤压模具的制造工艺，为连续挤压生产线提供了合格的模具。

钢结硬质合金模具在气门顶杆热挤压过程中出现了犁削磨损，但犁沟较浅。挤压时，磨损产生的磨料会对模具表面产生犁削作用。由于模具内均匀弥散分布的硬质相使犁削作用受阻，不能顺利进行，钢结硬质合金模具型腔内表面产生的犁沟沟痕较浅较少，犁削磨损轻，使其模具寿命明显高于其他热作模具钢，比一般工具钢高10倍以上，经济效果十分显著。