ポリビニルピロリドン（PVP）とポリビニルアルコール（PVA）コーティングのLiNbO3弾性表面波の部品の湿度の性能を探査して、PVPのコーティングのデバイスは5-95%相対湿度の範囲の内で部品挿入損失の変化が50dBに達することができる。応答時間は1.5秒で、回復時間は2.5秒で、この部品は性能が最高の湿度センサーである。一方、ナノ構造の酸化タングステンを湿敏材料として、ゾルゲルの技術を通じてナノ構造のWO3フィルムを得られる。また、相補金属酸化物半導体（CMOS）の技術を利用しては逆バイアス増幅回路とマイクロヒーターを一体する。25%-85%で湿度の範囲の線形検出を実現する。湿度が60％で感度が約4.5 mV/%RHである。WO3と銀混じりけのWO3フィルムの抵抗型湿度センサーを用いて、７００°C焼きなまし処理の銀ドーピングWO3湿度センサーで20-90%範囲内で20MΩ/%RHがより大きいを観察する。しかし、応答時間が長い29秒で、回復時間は２９０秒である。

表面弾性波湿度センサーの研究とナノ酸化タングステン湿度センサーの研究の進展を総合して、ダブル機能配位子小分子有機酸アンモニウムを用いてコーティング剤をつくる。低次元酸化タングステンナノ結晶として敏感膜を調整して、性能が優れているの表面弾性波デバイスを結び湿気探査を行う。これは比較的に面白いの視点で、酸化タングステンナノ結晶質の最適化と湿度センサーの性能が向上し、両者間の内部の関係を高める。

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湿度探査と制御はマイクロエレクトロニクス加工、室内の知的制御、生体のサンプルの育成、作物が温室で培養などの分野で広くの応用される。細かく監視の作用と影響は湿度センサーの研究が深く、人々はさまざまな改善と向上した装置の性能の方法と技術を設計と開発する。湿度センサーは一般材料の表面の水の分子物理化学的吸着によって材料の導電性質変化の法則を変えの設計加工である。様々な応答メカニズムを基づいて、湿度センサーはおもに容量型、抵抗型、光電型、と重力型などに分ける。

表面弾性波素子の特性を結び付けて、低次元ナノ材料及び複合物に表面弾性波湿度センサー敏感な膜の研究は特色を高く備えての新型検出の方法である。石英表面弾性波の部品の上を、ポリスチレンアセチレンやエネルギーなどの薄膜後に相対湿度の敏感性に比べて、TiO2フィルムのエネルギーの部品の応答と湿度の変化に従って線形最高の性能がよく良い。そして、ポリビニルアルコールフィルムは濡れ敏材料をとしてコーティングで二重共鳴音表面波発振器において、相対湿度20～75％の範囲内で非線形応答。カンフルスルホン酸ドープ聚苯胺を濡れ敏ユニットを利用して、128°Y切ってLiNbO3表面弾性波共振器を通して室温5%-90%相対湿度の範囲内の安定探査を実験した。結果はよくだ。

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三酸化タングステンの分子量は231.85で、理論密度は7.16g/cm3で、水に溶けなく、酸にの溶けない。しかし、HFがマイクロに溶け、熱アルカリとアンモニア水に溶けることができる。タングステンの外殻電子配置はsd46sで、したがってその化合物の中で+ 2、+ 3、+ 4、+ 5と+ 6など5種類の原子価状態を現れ、よく異なる原子価が共存するの状況がある。三酸化タングステンはタングステンの最高の価格の酸化物で、一般的に三酸化タングステンの酸素の含有量は厳しい化学計量比にを満たしていなく、WO3-xの形式で表示する。一定の程度の酸素の不在に存在しているので、部分のW6 +イオンはW 5 +イオンを還元して、タングステンの5、6価の混合原子価酸化物を形成する。

WO3の分子式はかなり簡単ですが、物理的性質が非常に復雑である。三酸化タングステンの融点は文献を報道によるは1473℃が、1100℃の時から升華し、昇華熱は459.8kJ/molである。厳格で満足に化学計量比かつ無不純物の三酸化タングステンは、無色透明の絶縁体で、室温でその禁制帯幅約2.9Evであるべきだ。また、非化学計量のWO3-xはn型半導体の行為を現れ、禁止帯幅は2.4～2.8eVである。しかし、三酸化タングステンの構造の変態は温度の変化につれてから、三酸化タングステンの抵抗率が跳躍現象を生み出すで、その抵抗率は一般的に0.3～10Ω・cmの範囲である。

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過去にナノ三酸化タングステンの調整は主に敏感膜の上で、その調整の工芸もより成熟している。それは最も早く、1967年にアメリカ人Shaverによって報道で、現の段階では違い調製方法と工芸を採用して敏感膜のガス敏性能を高めることに決心する。例えば混じりけ、敏感膜の粒径を下げて、表面の解媒なでである。

三酸化タングステンナノ顆粒および粉体の調製の研究が多く、顆粒/粉体の粒径と比表面積にガス敏の性能に影響が大きい。

国内の学者はマイクロの反応器法を採用して、タングステン酸アンモニウムと濃い塩酸を原料とし、粒径の大きさは、25～50nmの三酸化タングステンナノ粉末体を合成する。その中で単斜係と三斜係である。酸素にタングステンを蒸発し最小の粒径は36nmの単斜ナノ粒子を調製した。

（5）他の形のナノ三酸化タングステン

上記のいくつかの共通のナノ容貌のほか、近年では人々はまだ特殊と混合物形態のナノ構造を調製した。その目的は、容貌の改善と構造の設計を通じてナノ三酸化タングステンのガスの感度と選択を高める。学者は水成法を採用してWO3・H 2 Oナノボックスと花状のナノ構造を調製した。H2C2O4/NaWO4の割合に変化を通して、WO3・H2Oのナノ構造を抑える。H2C2O4/NaWO4は0.25：1時に、平均のサイズは150nmで、厚さ約に25 nmのブロックを調製することができる。また、H2C2O4/NaWO4は1.5：1に達する時、ナノキューブは始め集めり花状を形成した、、反応時間と乾燥温度によって、花状のナノ構造も異なる。左の図示の通りには反応1時間で、乾燥の温度は90℃で三酸化タングステンの花状ナノ構造である。ある学者は、Na2WO4・2H2Oの酸化を通じて三酸化タングステンのナノ薄切りを得られる。また、水熱法で片流れの三酸化タングステンのナノボックスを調製して、厚さは約97nｍで、右の図示通りに示す。

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（3）ナノチューブ

国内の学者はゾルゲル法を採用してAAOをテンプレートとして高さ秩序の三酸化タングステンのナノチューブアレイを調製した。その管壁が薄く、壁の厚さが約10 nmで、直径が100nm、テンプレートの口径と一致している。下のヒ左の図示のように示す。研究では、時間を通じて三酸化タングステンナノチューブの壁の厚さを抑えることができる。そして、簡単な溶融塩法を採用して600℃で三酸化タングステンのナノチューブ構造を調製した。その外径は100～200nmで、内径は30～50nm、長さが10ミクロンである。その性能のテストの結果を表明して、デバイスのエタノール、アセトンやガソリンを示したとても明らかな選択と法則性を呈する。その中で、３４０℃の時にデバイスアセトンの感度（Ｒａ/ Rg）は最高値に達すし、32.7である。

（4）ナノ帯

国内の学者はNa 2WO4、K2SO4とH2C2O4を調合素材を採用し、水熱法で6カ国の三酸化タングステンナノ帯を合成した。この研究の中で得たナノ帯の形貌がよく維持して、幅は１００～300nmの間で、薄く、長さがミクロン級に達する。しかも、ナノ帯のロングホイールベースは「001」の方向で、水熱処理前駆物のナノ帯は生成した6カ国の三酸化タングステンナノ帯の反応温度と時間はそれぞれ180℃と48hである。WeiWUなど人は触媒を使用されていないの情況の下で化学気相沈殿法（CVD製）を採用して硅片た正方構造の三酸化タングステンのナノ帯を調製し、その幅範囲は50～100nmの間である。長さは、数十ミクロンで、「001」の方向に沿って成長する。右の図示のように示す。

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ナノ粒子とナノフィルムに対して、ナノ構造の三酸化タングステンは高い比表面積があり、良好な表面効果と体積効果から、良いガス性能を現れる。

（1）ナノワイヤ

国内の学者はNa2WO4を原料にして、K2SO4を補助剤として、水熱法で三酸化タングステンのナノワイヤーを合成した。その直径約10nmで、長さがミクロン級である。沈殿法を採用して線状構造のナノ結晶を調製して、沈殿するの单壁カーボンナノチューブフィルムの三酸化tungstenのナノワイヤの平均直径は70nmで、長さがミクロン級である。左の図示の通りに。そのNH3にも良い感度を示す。

（2）ナノバット

国内の学者はNa3PO4に補助を採用して水熱合成法で単結晶の三酸化タングステンのナノバットを合成した。その直径は20 nmで、長さが約500nmである。そして、反応で無機塩や他の無機塩に加入しなく純のナノバットを調製しできないことをを証明した。傅小明などはNa2WO4を原料にして、K2SO4を補助塩として、強い酸性の反応係によって水熱法を通して三酸化タングステンのナノバットを合成した。結果を表明して、pH値に増大し、反応温度を高めると反応時間を延長しても三酸化タングステンのナノバットの合成に有利である。彼らの調製するの三酸化タングステンのナノバットの直径は100nmより小さく、しかも分布が均一である。右の図示の通りに。

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1931年、BraekkenはまずX線単結晶回折で三酸化タングステンの結晶構造を研究した。その後、新しい科学技術の発明につれて、三酸化タングステンの複雑な構造は徐々に研究に続けて、新しい晶相が絶えず発見される。

大量の科学の研究を表明して、低温、室温に三酸化タングステンは単斜晶相、三斜晶の相形で存在し、高温には直交晶相と四方晶相を現れる。三酸化タングステンは温度の変化にとともに経験した晶相構造の変化の順番：（1）133K、単斜晶相である。（2）223K、三斜晶相である。（3）290K、単斜晶相である。（4）603K、直交晶相である。（5）1013K、四方晶相である。そして、温度は1103Kに達する時に、新たな四方相を現れる。ということが分かる時室温で三酸化タングステンは単斜結晶相の構造の安定に存在し、三酸化タングステンの対称性は温度の上昇にだんだんアップする。六方晶相の三酸化タングステンは安定して、単斜の三酸化タングステンの安定性はより悪いが、その200-400℃で安定的に存在することができる。また、相転移は温度に関係があるだけでなく、外部と粒が加わった機械応力などの要因に関係がある。

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三酸化タングステンの結晶構造はひずみのWO6の八面体が共用頂角の酸素原子の形成の三次元の網状構造である。、6のO原子で正八面体を構成される、W原子はそのうち、下図のように：

この網状構造の中で、WO6八面体は傾斜でとタングステン原子が八面体の中心部に位置に取って代わられた、だからその対称性が低い。WO6の八面体のW原子よくオフセンターとなり、WO6の構造が変形をつながて、三酸化タングステンの晶型は複雑で多様である。そして、これらの晶型の対称性は温度の上昇により低いから高いまでに進化する。統計によると、三酸化タングステンの結晶構造は73種類で、主な単斜晶相、三斜晶相、直交晶相、立方晶相、四方晶相と六方晶相などである。これらの晶相は温度変化に従って互いに変換する時、だけ元のW-O八面体を基づいて一定の程度の調整とねじれて、切れキーを再構築しない。だから、相転移が発生しやすい。

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