鎢管的制取實驗(CVD)
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- 分類:鎢的知識
- 發佈於:2015-06-16, 週二 19:21
- 作者 Yahong
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實驗材料:高純氫氣,高純氬氣和高純六氟化鎢和沉積基體:紫銅管。
實驗過程(CVD):
對沉積基體表面進行去汙、丙酮清洗、吹幹處理,然後將其置於反應室內。
為避免氫氣與空氣混合發生爆炸,應先通入氬氣排空反應室和所有管道的空氣。待空氣排空後,打開氫氣流量針閥通入氫氣並將排出的尾氣點燃,然後關閉該閥;
對沉積基體進行電流加熱,使其達到所需的沉積溫度;
把WF6和H2按一定比例混合後,通過流量控制設備通入反應室;
WF6和H2在沉積基體表面發生化學反應,得到難熔金屬沉積層;
在一定的反應時間後,關閉加熱電源、反應氣體的控制閥,使反應室降溫;
待溫度降到100℃以下後,取出試樣,經過切割,去除沉積基體後獲得鎢管。
通過改變沉積溫度、氣體流量可獲得不同工藝的鎢管,然後再對其進行測試分析。
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鎢合金屏蔽件生產壓制工藝
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- 分類:鎢的知識
- 發佈於:2015-06-16, 週二 19:18
- 作者 wenjing
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壓制成型是製造鎢合金屏蔽件的一個重要環節,其在混料步驟之後進行。壓制成型一般分為鋼模壓製成型和冷等靜壓成型。鋼模壓製成型是普通壓模成型的主要方法,主要設備為壓力機和壓模,壓力機有機械式、液壓式、機械-液壓組合式。鎢及鎢合金鋼模壓制主要採用液壓機。鎢及鎢合金壓制與產品的牌號及潤滑條件有關,一般壓制壓力在100~600MPa範圍。冷等靜壓成型是借助高壓泵的作用把流體介質(氣體或液體,液體為水或油)壓入耐高溫的缸體米粉容器內,高壓流體的靜壓力直接作用在彈性模套內的粉末上,粉末體在同一時間內在各個方向上均勻受壓而獲得密度分佈均勻和強度較高的壓坯。
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基體管徑對化學氣相沉積鎢管組織形貌的影響
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- 發佈於:2015-06-16, 週二 19:14
- 作者 Yahong
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實驗材料及試劑如下:
H2:高純;
WF6:高純;
Ar:高純,用於排空反應系統中的空氣;
沉積基體:紫銅管(管徑:6mm、10mm、16mm、35mm);
相同沉積溫度(600℃)條件下,不同管徑(6mm、10mm、16mm、35mm)沉積基體獲得的鎢塗層的組織形貌都是細小的柱狀晶且其生長方向幾乎與銅管徑向相同。通過對以上條件下獲得的鎢塗層的顯微形貌的對比發現,在後續鎢管沉積工藝的參數中,可以忽略沉積基體管徑對鎢管顯微組織形貌的影響。
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鎢合金屏蔽件生產混料工藝
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- 發佈於:2015-06-16, 週二 19:16
- 作者 wenjing
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混料是製造鎢合金屏蔽件的第一個環節。混料通常是指一種粉末不同批次或物理性能的粉末及兩種以上不同成分的粉末混合的均勻的過程,混合的目的主要是使粉末物理性能更加一致,富集性雜質均化,進行顆粒搭配,加入其他不同元素粉末,加入粘結劑潤滑劑等。鎢合金採用幹法混合,混合時同時加入不低於90%的鎢粉及其他金屬粉末如鎳、鐵、銅等,及潤滑劑在同一混料器內進行,加入的潤滑劑多為酒精與甘油的混合液。鎢及合金粉末採用粉末混料時,桶內應放置合適量的鎢球及鎢塊。
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CVD鎢管的組織形貌(2)
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- 發佈於:2015-06-16, 週二 19:01
- 作者 Yahong
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隨著化學氣相沉積過程的進行,通過不斷地吸收鎢原子,初始形成的細晶晶粒向各個方向長大並形成沉積顯微組織中的雜亂取向生長區。
再經過進一步的沉積生長,因為,這些向各個方向長大的晶粒的橫向生長會由於相互的接觸和阻擋而停止繼續生長,所以,只有沿著垂直於銅基體表面方向的生長才能夠獲得其生長所需的空間,從而繼續生長。因為有這樣的競爭生長方式,所以,最終就形成了沿著垂直於生長表面發展的柱狀晶結構,沉積層主要就是由此區域組成。
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