溅射的机理。根据动能转移理论认为离子必须要拥有一定的动能，即一定的速度去碰撞靶材料，才能使其表面溅射出原子。碰撞时，离子将动能传递给被碰撞的原子，只有当动能的能量大于靶材原子之间的结合能，原子才能从靶材表面溅射出来。简单的理解这就好比生活中拿着石镐去敲击石头，只有当你力气达到一定的程度才能从石头表面敲下小石子，石镐即为离子，石头为靶材、小石子为溅射出的原子。经过理论分析得出以下几点：（1）原子溅射率会随离子动能增加而提高，但当动能增加到一定的程度时，溅射率反而会减少；（2）当离子动能低某一个数值时，靶材表面将不再发生溅射；（3）发生溅射是具有方向性的，溅射方向会根据离子的入射方向改变而变化；（4）如果采用质量小的电子来替代离子轰击靶材料，即使具有极高的动能，也不会发生溅射现象。