六氟化钨规模化制造

六氟化钨(WF₆)，无色气体或浅黄色液体，固体为易潮解的白色结晶，在潮湿空气中冒烟。六氟化钨是目前钨的氟化物中并被工业化生产的品种，主要用途是用于钨的化学蒸镀，用作氟化剂，高温下可被氢及其他还原性气体还原为金属钨和HF，该反应是六氟化钨作为原材料广泛应用于电子工业中生产超大规模集成(VLSI)半导体器件、尤其是动态随机存取存储器(DRAM)和高性能微处理器的工艺技术的基础。

随着新兴技术的发展，特殊气体需求品类繁多，国内从业企业技术水平参差不齐，市场供求从量上看供大于求，产能过剩；但是就质而言，能达到特殊气体技术要求的只占产能的36%，因此，符合特殊气体技术要求的特殊气体供给短缺，基本依赖进口。可见，特殊气体生产从业者，只有技术进步，才能满足特殊气体使用质量要求。近日，知名企业欧中电子投资的中国首个大型六氟化钨生产基地在渝开工，弥补了我国电子特气规模化制造的空白。

据了解，企业采用的已申请专利的六氟化钨生产工艺，其操作性能安全可靠、系统运行稳定、可实现连续性生产和连锁自控。其工艺大致如下：

将30kg原料100目的钨粉加入已装有三氟化钴(粉末)的反应器(尺寸为￠89×4.5 ×1000)内，与设备管道均进行脱水干燥作业(加热抽真空，水含量≤3ppm)，然后将反应器加热至反应温度条件。反应时，将氟气经压缩机将压力提高至2bar后经吸附器通入反应器内进行反应，反应温度在300℃，进气流量设在120L/min左右；反应器排出的尾气经过滤器进入低温收集罐冷凝收集WF6，收集温度为-5℃；过滤器的作用主要是除去尾气中粉尘、颗 粒等固体物质；吸附器的作用是吸附尾气内含有的HF杂质；进入低温收集罐的尾气中WF₆在低温下(低于其沸点温度)逐步冷凝成液体，尾气中未被冷凝的气体再经压缩机增压打回至反应器内进行反应。收集到的WF₆再进提纯系统进行纯化制得高纯WF₆。

六氟化钨产品主要用于半导体制造工艺中，这对它的纯度要求很高，工艺采用的原料氟气和钨粉分别选用为5N氟气和3N钨粉,工艺的效果和性能已经较为成熟。

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