蓝宝石衬底上的III族氮化物基化合物半导体层
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- 发布于 2013年12月18日 星期三 11:11
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一种激光二极管制成的,其包括蓝宝石衬底上的III族氮化物基化合物半导体层;形成在III族氮化物基化合物半导体多层结构,其中所述基板,所述具有双异 质结结构与设置之间的有源层的多个层结构层具有比有源层,从而使多层结构的III族氮化物组合物是由通式(的Al x Ga-x),其中0≤X≤1和0≤Y≤1 Y输入1-Y N所定义的较大的带隙;其特征在于,所述蓝宝石基板具有对应面对的基板和其功能是作为用于晶体生长的主平面的平面取向说,所述多层结构上形成的所述主面的 蓝宝石基板可直接或在一个中间存在所述缓冲层和反射镜表面被切割形成所述多层结构和所述平行于对应于所述蓝宝石衬底的c轴方向的方向的蓝宝石衬底。
改进的激光二极管是由氮化镓基化合物半导体的((的Al x Ga-X)yIn1-YN; 0 </ = X </ = 1; 0 </ = Y </ = 1),具有双异质结结构具有具有较大的带隙层之间保持活性层,激光二极管包括通过切割形成的反射镜表面,多层涂层和所述指示蓝宝石衬底平行于(c轴方向)的蓝宝石衬底。另外,在改进的方法中,只有中间氧化锌(ZnO)层是通过湿法蚀刻用的ZnO选择性液体蚀刻剂除去,从而形成在蓝宝石衬底和最底下的子层,所述半导体激光元件层之间的间隙;与所述半导体激光器元件层被切割用的辅助所述间隙20,以切割被用作激光谐振腔的反射镜表面所得到的平面。
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非极性的Zn1-xMgxO(0≤X≤0.113)薄膜的外延生长和表征:γ-铝酸锂和蓝宝石衬底的比较
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- 发布于 2013年12月18日 星期三 10:50
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γ-铝酸锂和蓝宝石基板已通过采用有机金属化学气相沉积生长的Zn1非极性-xMgxO薄膜。的Zn1-xMgxO薄膜与不同Mg含量(0≤X≤0.113)通过调整在气相中的镁金属有机前体的分压得到的。 Mg原子结合的电影代锌的能力范围内。无偏析相如MgO或Mg金属在整个的Zn1-xMgxO膜中观察到。的膜的结构表征表明,γ-铝酸锂是一种高级的衬底为蓝宝石的非极性的Zn1-xMgxO薄膜的生长。
外延的Zn1-xMgxO薄膜成功地生长在γ-铝酸锂基板与ZMO劳和ZMO LAO的外延关系。在另一方面,Zn1-xMgxO薄膜既和方位在蓝宝石衬底上获得的Zn1虽然-xMgxO成为主导随着Mg含量。此外,外延的Zn1-xMgxO薄膜的室温下的阴极发光光谱表明的近带边发射的随Mg含量明显蓝移,这表明带隙工程中的γ-铝酸锂衬底上外延非极性的Zn1-xMgxO薄膜。
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异形蓝宝石晶体的倍数增长
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- 发布于 2013年12月17日 星期二 09:24
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异形蓝宝石晶体的提拉使用由在一个“循环”或“线性”的增长布置加热元件来实现的电阻加热进行说明。生长设备可容易地拆卸东阳各个钼金属模具被连接到具有一个强度降低的扩散钼 - 钼结合的模具夹持块。的各个处理的优点的描述和后拉晶体的形状的品质芯片顶部温度的影响被提及。
边缘界定薄膜联储增长(EFG) SaphikonTM蓝宝石晶体已经成长并成功加工成窗测量225 x 325毫米,厚度为5.6毫米。 40多个窗口已经完成,并组装成客户的硬件和交付。抛光及涂层的窗户都从1比一门125毫米口径展出的平均传输> 93 %到< 0.1波有效值5毫米的波前测量( @ 0.633微米) 。光学测量数据列和晶体生长和抛光工艺的各个方面进行了讨论。
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单晶的氮化镓纳米带在蓝宝石衬底上的合成
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- 发布于 2013年12月17日 星期二 10:03
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在有关氮化镓一维纳米结构和合成以往的研究氧化镓才出现,作为镓源的组成部分之一。在此已成功地合成了批量量氮化镓纳米带的蓝宝石衬底上,从溅射氧化镓薄膜与氨气的直接反应。既没有金属催化剂也不模板在该过程中使用,合成的带状一维纳米结构的详细特征显示,他们单晶六方纤锌矿氮化镓。
通过氮化氧化镓薄膜沉积在蓝宝石衬底合成底物通过射频磁控溅射单晶氮化镓纳米带。纳米带的元件和结构经X-射线衍射(XRD )研究,扫描电子显微镜(SEM) ,能量色散型X射线(EDX ),透射电子显微镜(TEM)和高分辨透射电子显微镜(HRTEM ) 。该平整光滑带状纳米结构是高品质的单晶六方纤锌矿氮化镓。的厚度和生长的GaN纳米带的宽度与厚度之比分别是在8-15 nm和5-10nm的范围内。
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单晶氧化锌膜的光学特性顺利化学气相沉积在蓝宝石上intermediately溅射的薄氧化锌薄膜
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- 发布于 2013年12月16日 星期一 11:48
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氧化锌的Br2-O2 ,氯化锌-02 ,和ZnO-H2-H2O-O2化学气相沉积(CVD)系统的研究,以获得对蓝宝石单晶氧化锌作为生长的光波导。该波导是由氧化锌的蓝宝石上的非常薄的溅射沉积的外延层通过使用在ZnO-H2-H2O-O2等温化学气相沉积系统。在垂直于氧化锌薄膜的c轴方向获得的TE0模式传播损耗最小为0.7分贝/厘米。氧化锌对薄溅射的氧化锌膜此化学气相沉积给出了带状光波导的蓝宝石的制造方法,由于在溅射沉积的ZnO片的氧化锌薄膜的选择性生长。
化学气相蓝宝石上(SOS)的低温沉积硅0.25 μm厚植入28Si +和通过炉内退火(FA),并在我们的实验室红外快速热退火(RTA)进行重结晶在固相上。可以同时使用退火方法得到的结晶质量的改善。 FA之后,就很难保持固有的高电阻率值( Ω 104-105厘米)中观察到的生长的SOS膜,所以改进的过程,不能投入实际使用有效。然而,可以证明,通过适当地调节注入和RTA的条件下,在两种膜质量和膜自动搀杂显著改善可以完成。这项工作介绍了改性双固相外延,其中作为土生土长的SOS薄膜的内在高电阻率被保留的过程。抑制铝自掺杂的机理进行了讨论。
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