AlN的观点高速外延生长的MATHML源通过氢化物气相外延

蓝宝石氮化铝(ALN)外延层基片生长于高温度高于查看MATHML源通过氢化物气相外延(HVPE)。一种高温生长蓝宝石外延片系统通过结合传统的热壁型炉内,加热基座具有集成加热元件构建的。该系统通过HVPE上面查看MATHML源即使在石英反应器实现了AlN的增长。 AlN的增长率保持不变在查看MATHML源的温度范围内。这一结果与热力学分析预期的结果相一致,并表示AlN的通过HVPE生长已受到大众运输有限过程,即使在高温下。 AlN的美景增长率外延生长的MATHML来源是在查看MATHML源实现的。

CW氩激光照射(锂)下退火行为已经被研究了0.2-0.5-μm厚的硅 - 蓝宝石(SOS)外延片。分析由兆电子伏赫+窜表明李在固相下,Si-植入薄膜,它有一个埋非晶层beneth≈30后表面的晶系,成为结晶性,但更缺陷比原来的化学汽相淀积(CVD)电影。相反,类似的层的炉退火显著降低表面晶体以下缺陷浓度,相比于CVD SOS的缺陷水平。在液相CVD或Si-植入SOS李降低了缺陷浓度在整个膜的厚度,但再生长膜是横向不均匀,并具有高的铝含量。


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氮化镓单晶纳米线的使用化学气相沉积法控制蓝宝石衬底生长

化学气相沉积(CVD)用金纳米颗粒作为催化剂生长高质量的单晶氮化镓纳米线被开发了。此方法使在增长的几个蓝宝石衬底重要方面,包括纳米线直径透过外延生长奥纳 - 使用单分散的金团簇,通过催化剂网站电子束曝光的纳米线位置的控制,以及纳米线方向的控制控制控制平面蓝宝石衬底。我们的工作开辟了新的方法来使用氮化镓 纳米线作为nanobuilding块。

氧在蓝宝石扩散是由一个28GHz的微波炉中加热与加热在传统炉相比加快。示踪弥散实验使用180进行,蓝宝石单晶晶片具有(1012)菱形平面的方向被用作衬底。浓度深度剖析,用 一个5兆电子伏静电加速器质子活化分析完成。 18O的扩散大大微波加热与在1500-1800 ° C范围内常规加热相比增强。表观活化能为18O体扩散被确定为390千焦mol-1的与微波加热及650千焦mol-1的与传统的加热。


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Φ140毫米蓝宝石晶体生长受温度梯度的技术和它的色心

蓝宝石晶体,140毫米口径和90毫米的高度,已经增加了温度梯度技术(TGT)。该坯体的生长方向被固定的劳厄X蓝宝石晶体射线衍射装置。在TGT-Al2O3的,它不会出现在采用提拉法生长单晶一位著名的204nm处的吸收峰进行了研究。分析进一步证实了这一带的F-中心模型。两相对较弱的波段吸收在232纳米和254纳米进行所赋予F +中心。F型中心浓度用Smakula的等式来确定。

碲化镉晶体采用气相法,其中所述晶体上生长的单晶籽而不与热传导支持者接触得到。一些不同的代理在生长过程中填充所述管被使用,并且结果发现,生长率强烈地依赖于该代理。


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改进控制15英寸直径蓝宝石晶体的生长

全球最大的蓝宝石晶体可达340毫米直径的热交换法(HEM)生产。为了满足所有的应用程序,纯度最高的裂纹被蓝宝石晶体使用,因此该产品具有杂质含量非常接近发光的探测极限放电质谱法(GDMS)。生产340毫米直径的蓝宝石晶体的电荷大小从55公斤增加到70公斤,直径较大的380毫米,84公斤晶柱被生产了。这些晶柱被用于生产315毫米口径,132毫米高的蓝宝石缸,以满足客户的要求。努力已采取生产的HEM-晶柱生长几乎平坦的顶面沿侧壁起伏最小允许更大的蓝宝石件生产制造晶柱。向上扩展的梯度炉技术已导致氧化铝高达15厘米,直径6.8厘米的高度和4.5公斤重的大单晶的生长。

一种技术的开发是为了检测在坩埚生长的蓝宝石晶体的上表面中央的结晶。这种技术需要在熔融和固体蓝宝石在熔点的光吸收系数大的差异的优点,并且是基于高温计读数的整个生长过程中的记录。在所观察到的蓝宝石表面的凝固点,膝发生在记录曲线图。积累的数据使能的生长速率在生长结束的优化,以及成长的由晶体冷却开始的正确定时的持续时间。另外,也可以在早期阶段检测和终止不成功生长奔跑。


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研究蓝宝石表面制备的Ⅲ族氮化物异质外延生长的化学处理

用硫酸、磷酸,和3:1的硫酸的蓝宝石衬底的腐蚀:磷酸的混合物,如温度和蚀刻时间的函数,进行了系统的使用原蓝宝石衬底子力显微镜研究。蓝宝石制备用液基蚀刻用H2蚀刻相比于在1400℃ 1100 ℃,空气中退火在液体为基础的治疗,是通过在300 ℃,30分钟蚀刻在纯硫酸获得最流畅的,坑的表面。硫酸蚀刻在更高的温度或更长的时间产生的硫酸铝和硫酸铝的表面上3⋅17H2O结晶沉积的不溶性混合物。

磷酸和3:1的硫酸:磷酸的混合物,它是用于蓝宝石制备的常规使用化学处理,蚀刻在蓝宝石优先在缺陷位点,导致在表面上形成凹坑。使用氢气在1100℃的蓝宝石治疗没有去除表面损伤。空气退火的蓝宝石,在1400 ℃下进行1小时,产生的原子级平滑表面上,包括一个平台和台阶结构的。本研究的结果在蓝宝石蚀刻过程的化学的角度进行了描述。


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