金刚石薄膜用钨加热子

热丝法中的热解源——钨丝一般采用螺旋状（钨加热子）。但是螺旋状钨丝很容易在沉积的过程中受碳化影响而产生形变。大面积金刚石薄膜需要有比较均匀的热解源温度场，热解丝的变形会破坏原设计温度场的均匀性。用直线钨丝作热解丝能比较好地解决螺旋钨丝的下垂变形。除此之外，单根直线热解丝的热解能量密度比螺旋丝要低，要保证较高的热解能量密度，需要更多热解丝进行密集的排列。用并联法连接热解丝虽然可以解决密排的问题，但是由于热解电流很大，需要专用的低电压大电流设备进行供电，并且需要对引线触点水冷。而串联法要做到密排连接目前在工程上仍然存在一定的困难。

金刚石的硬度在固体材料中最高，达HV100GPa，热导率为20W·cm-l·K-1，为铜的5倍，禁带宽度为5.47eV，室温电阻率高达1016Ω·cm，通过掺杂可以形成半导体材料。

热丝法化学气相合成金刚石中的样品基片温度受热解丝温度及热解丝与样品基片距离影响很大。热解丝温度、热解丝与样品基片距离和样品基片温度很难同时在各自最佳的参数下运作。所以要将采用∅0.3mm直径的钨丝，这样可以将钨丝下垂变形减小到最低程度。采用独立的电炉加热装置，使样品保持一定的温度，当样品基片靠近热解丝的时候，热解丝有效大的热量辐射到样品基片，这个时候就可以将加热功率调小，或者不用电炉加热而直接用冷却水的流量来控制样品基片温度。

纯钨产品供应商：中钨在线科技有限公司	产品详情： http://www.tungsten.com.cn
电话：0592-5129696 传真：5129797	电子邮件：sales@chinatungsten.com
钨钼文库：http://i.chinatungsten.com	钨钼图片： http://image.chinatungsten.com
钨新闻3G版：http://3g.chinatungsten.com	钼业新闻： http://news.molybdenum.com.cn

微信：

微博：

• < 上页
• 下页 >