镀膜机和钨加热子

蒸发镀膜的原理是：先把镀膜室内的气体抽到10^-2Pa以下的气压，通过加热蒸发源使放在蒸发源中的物质蒸发，蒸汽的原子或者分子从蒸发源表面逸出，沉积到基片上凝结形成薄膜，包括抽气，蒸发，沉积等基本过程。镀膜机主要由镀膜室，真空获得系统，真空测量系统和电路控制系统组成。其中钨加热子主要是放置在镀膜室中作为蒸发加热器。

可以选用电阻式加热蒸发源——螺旋形钨加热子制备铝膜。螺旋形钨丝加热子等同于一个电阻，通电后会产生热量，电阻率也会相应的增加，当温度为1000℃左右的时候，蒸发源的电阻率是室温的5倍，蒸发源产生的焦耳热就是能够让铝原子得到充分的动能从而蒸发。

当镀膜室抽到高真空的时候，将挡板遮盖好钨丝，避免预熔的时候，蒸散的铝会喷到基片上。然后慢慢通电加热钨丝，这样铝就会熔化然后粘附在螺旋钨丝上，这个过程就叫做预熔。其目的是将原来吸收在铝中的杂质排除出去，这样铝在蒸发的时候就不会产生大量的放气从而导致真空度得到破坏，这样一来也保证了膜层的纯度。

铝熔化的温度约为670℃，选用丝状蒸发源是因为铝对钨丝有湿润的作用，蒸发是从大的表面上进行，而且比较稳定，这种湿润性和钨丝表面的温度有关。如果温度过高，铝和钨在高温下都会产生合金，极易造成钨丝严重变形甚至烧断以及铝的喷溅。

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