探测钨针的接触电阻

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探测钨针的接触电阻会影响到半导体制程中晶圆测试的可靠度。所以,为了提高晶圆针测的准确性,有专家提出了一种测试探测钨针的接触电阻的方法。

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半导体测试针用钨针

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半导体测试针用钨针可以是采用铼钨合金打造而成的合金探针,也可以是采用纯钨打造的纯钨探针。其中,铼钨合金的接触电阻比钨稍高而抗疲劳性相似。此外,铼钨合金的晶格结构比钨更加紧密,所以铼钨探针顶端的平面更加光滑。

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晶圆探针用钨针

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晶圆探针用什么?晶圆探针用钨针。钨针可以用于集成电路晶圆测试的工具——探针卡的电路板上,又或者是探针台上,主要是测试晶圆上每一个晶粒的电气性能,看它们是否是依照设计规格制造出来的。

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晶圆探测钨针的回收利用

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为了降低晶圆测试成本,晶圆探测钨针的回收利用很重要。在晶圆测试中,锥形的钨针经过多次测试后开始磨损,导致针头的直径越变越大。此时,如果不将含钨针的探测卡(晶圆测试的工具之一)换掉,会影响测试结果的准确性;而换掉,则会增加成本。对此,有研究人员提出一种对这种探针卡的钨针的处理方法。

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晶圆探针卡用钨针

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晶圆探针卡用什么材料的探针?晶圆探针卡用钨针。探针卡是一种用于晶圆测试的工具,通常由一测试电路板和位于电路板上的针尖弯折成95-105度的锥形钨针构成。测试时,将钨探针的针头直接接触被测晶圆的衬垫,从而实现对晶圆的电性能测试。

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