晶圆探测钨针的回收利用

为了降低晶圆测试成本，晶圆探测钨针的回收利用很重要。在晶圆测试中，锥形的钨针经过多次测试后开始磨损，导致针头的直径越变越大。此时，如果不将含钨针的探测卡（晶圆测试的工具之一）换掉，会影响测试结果的准确性；而换掉，则会增加成本。对此，有研究人员提出一种对这种探针卡的钨针的处理方法。

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晶圆探测钨针的回收利用

准备一含（浓度为3％-7％）氢氧化钠溶液的吸附球（棉球）；将棉球接电源负极；准备一棒丝；将棒丝接电源正极；将棉球与钨针的针头接触，将棒丝与钨针的针体接触，从而对钨针的针头进行腐蚀处理。其中，电源的电压值在10-12伏之间。

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