探测钨针的接触电阻

探测钨针的接触电阻会影响到半导体制程中晶圆测试的可靠度。所以，为了提高晶圆针测的准确性，有专家提出了一种测试探测钨针的接触电阻的方法。

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一种探测钨针接触电阻的测试方法

提供待检测晶圆，晶圆上形成有焊垫，焊垫连接至电源端VDD；将探针钨针与焊垫接触，并将电源端VDD接地；向探针提供多次测量电流，得到探针上对应的测量电压；根据测量电流和测量电压计算出探针的接触电阻的阻值R。利用晶圆本身的结构经过简单的步骤就能得到探针与焊垫实际的接触电阻。这将有助于良率分析和提高晶圆针测的准确性。

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