EFG蓝宝石色带异质外延硅衬底的生产

色带异质外延硅衬底的生产方法被描述为蓝宝石晶体的带状几何形状的边缘限定薄膜供给生长( EFG)技术的发蓝宝石衬底展。色带状晶体生长以用作异质外延硅衬底。的装置中,生长过程中,和所生长的带状的特征进行了描述。三带75毫米的宽度,同时增加。增长率为152和204毫米/小时之间。丝带的高百分比是免费的非取向晶粒的。在主缺陷的特点是“片”微空隙通常5-25微米的直径,和“分布式”微孔的直径通常为0.5-2微米。无显著差异在制作中的异质外延硅沉积在EFG和直拉生长的衬底设备观察。

氮化镓上使用开放管生长炉蓝宝石衬底上的外延生长已进行了研究后的层的属性衬底取向和输送气体的影响。已经发现,对于(0001 )衬底,表面外观几乎是独立的掺杂水平的载气和的。对于( 1 ¯ 102 ),而不是氢时,他是作为输送气体基材表面网格大大降低。当在GaN中掺杂有Zn和为(1 ¯ 102)衬底中Zn掺杂运行使用He作为传输气体所获得的最好的表面刻面也减少了。在电性能为(1 ¯ 102)衬底方面是最好的样品具有流动性大于400平方厘米​​Ⅴ-1秒-1和大约2× 1017厘米-3载流子浓度。该样本是未掺杂和使用他作为传输气体。最好的(0001)的样品也生长未掺杂与He作为输送气体,并且具有300cm2V -1秒-1下的流动性和在1× 18 cm -3以上载流子浓度。


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蓝宝石单晶的梯度凝固法生长过程中界面形状和热场

提出了一种有限元模型描述了通过梯度凝固法的熔融生长的圆柱形的蓝宝石单晶。这种模式的优点在于它能够准确蓝宝石单晶体地捕捉通过该系统与传热有关,而在它的计算需求依然疲弱复杂的物理现象。通过透明的晶相内部的辐射热输运占我们的配方,因为是流场在生长过程中不断变化的熔体细节。这两个浮力和表面张力梯度(马兰戈尼)驱动的对流效应考虑。结果表明,该热场中的熔融/结晶界面形状的电荷和操作参数,如晶体生长速率和炉内温度梯度很强的依赖性。

具体来说,有了这个系统,再加上通过晶相增强辐射冷却相关的大的潜热值,导致一个戏剧性的减少界面曲率和位置相对较高的增长率和浅炉梯度。此外,对热场的流体流动的影响的证明是不重要在本系统中,考虑到生长在大直径相对的坩埚时也是如此。这里报告的趋势与实验观察总协定。


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蓝宝石长晶炉强化手术:标准水晶LED上游

从白炽灯的禁令正式实施LED <<中国逐步降低荧光灯汞含量的路线图>>介绍>>颁布半导体照明节能产业规蓝宝石长晶炉划,LED照明将取代传统的白炽灯和荧光灯的照明方式成为最重要的。照明市场的发展,同时也有一个最高增值蓝宝石和蓝宝石Danchang的静,炉市场的拉动作用。

纵观当前的蓝宝石泾丹炉市场,主要是由于蓝宝石长晶炉外国企业所掌握的技术和工艺,他们实行技术封锁,进口设备占了相当大的份额。中国企业突破技术封锁,蓝宝石长晶炉设备的本地化作出了重要贡献,取得了重大突破。


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蓝宝石长晶炉数量需增加

据GSC研究调查显示,蓝宝石的价格在2009年为9美元,保持微利,甚至低于传统行业利润,价格低,积极性不高蓝宝石衬底需求量预计有关蓝宝石制造商的扩张,蓝宝石能力开始下降,但在2010年LED背光产品渗透率大幅提升刺激下,蓝宝石基板市场需求的情况下,价格飞涨,导致在2011年经历了类似的光伏规划投资过热。

目前,2寸蓝宝石衬底的价格大降,预计大部分项目建设进度放缓。分析师预测2013年蓝宝石衬底项目至少停掉了50%。蓝宝石回归到理性的投资定位蓝宝石长晶炉大尺寸,高品质,低功耗,低劳动'的大型公斤,后期国产设备必须是为了价格竞争力相媲美的技术和足够的刺激了市场的采购热情再度。


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蓝宝石长晶炉的发明目的与新型优点

发明目的是克服原有的缺点,提供了一个炉系统石长晶蓝宝石蓝宝石石长晶炉真空系统,以确保稳定的操作。蓝宝石长晶炉

本实用新型的目的是实现:

蓝宝石石长晶炉真空系统包括真空信道,真空信道被连接到所述蓝宝石丹泾炉体,所述下端通过分子化合物分子泵连接到接收器,所述真空泵,所述真空管道,在分子泵配置栅极之间的旋转阀,复合分子泵连接到真空排气出口管的下端,所述真空排气出口管上设置有第一电磁阀,所述第一电磁阀的后部排气管和真空出口被连接在所述真空排气旁通管,所述排气旁通管上设置有一第二电磁阀的道路上。

与现有技术相比,本实用新型的优点在于:

本发明在真空系统中,复合分子泵,油扩散泵节省金属油的热身时间,同时避免在加热板的破损的紧急停机造成的损失和蓝宝石炉丹泾油气污染。蓝宝石长晶炉真空系统与蓝宝石长晶炉系统,可以保证稳定的经营优势。


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