CVD钨管工艺参数：
反应气体：WF₆和H₂ 的通入量和配比保持不变
沉积温度：500℃，600℃，700℃，800℃（加热方式不变）
沉积基体：紫铜管，相同管径
还原反应：WF₆ + H₂ → W + 6HF (125Kj/mol)   

CVD钨管工艺参数对沉积速率的影响：
由CVD钨管实验的结果分析可以看出以下几点：
CVD钨管的沉积速率随着沉积温度的升高而加快。

当沉积温度低于500℃时，还原反应的速度非常缓慢，钨管沉积膜层的生长速率很低。

当沉积温度在500℃-700℃时，CVD钨管的沉积速率的提高较明显。

当沉积温度在700℃-800℃时，CVD钨管的沉积速率的加速较缓慢。

若是沉积温度超过800℃，所获得的钨管沉积层组织结构很疏松，不存在实际的使用价值，所以，沉积温度宜控制在500℃-700℃。


纯钨产品生产商、供应商：中钨在线科技有限公司
产品详情查阅：http://www.tungsten.com.cn
订购电话：0592-5129696 传真：0592-5129797
电子邮件：sales@chinatungsten.com
钨钼文库：http://i.chinatungsten.com
钨新闻、价格手机网站，3G版：http://3g.chinatungsten.com
钼新闻、钼价格：http://news.molybdenum.com.cn
关注微信公众号“中钨在线”，了解每日最新钨钼价格

通过SEM观察蓝色氧化钨的粒度和松装比重发现，焙解温度在400~500℃之间，蓝钨的颗粒均匀性较好。当焙解温度在400~500℃焙解温度下，可获得费氏平均粒度为11.9~12.0um，松装比重为2.49~2.50 g/cm²的蓝钨。当焙解温度在400℃时，蓝钨的费氏平均粒度是12.0um，松装比重是2.50g/cm²。在焙烧温度为450℃时，费氏粒度为11.9um，松装比重,是2.50 g/cm²。而在焙解温度在500℃时，费氏粒度为12.0um，松装比重为2.49 g/cm²。经以上数据可以发现，焙解温度在400~500℃之间蓝钨的粒度分布曲线趋势相同，均匀性较好。在每个温度范围内，粒度分布在一个区域内波动，各个粒度分布主要是在10~40um之间，且松装比重的波动也不是很大。同时不同的温度下，蓝钨粒度的平均直径也有相应的影响。温度越高蓝钨的粒径也会有所增大，但是影响不明显。

钨产品生产商、供应商：中钨在线科技有限公司
产品详情查阅：http://www.tungsten-powder.com
订购电话：0592-5129696 传真：0592-5129797
电子邮件：sales@chinatungsten.com
钨钼文库：http://i.chinatungsten.com
钨新闻、价格手机网站，3G版：http://3g.chinatungsten.com
钼新闻、钼价格：http://news.molybdenum.com.cn
关注微信公众号“中钨在线”，了解每日最新钨钼价格

氧指数对蓝色氧化钨的性能和形貌有一定的影响，相关学者通过增重法测定蓝钨的氧指数的含量。经过实验分析发现，焙解温度对蓝钨的氧含氧量和色译密切相关。当焙解温度在350~500℃时，氧指数介于2.96-2.90之间。通过改变焙解温度，蓝钨的色译、氧指数含量和表面光泽度都有不同程度的变化。在350℃时，蓝钨的色译呈现的是黄蓝色，氧指数较高，表面无光泽。随着温度的升高，蓝钨逐渐被还原，当焙解温度达到450℃时蓝钨的色译为蓝黑色，表面有金属亮光，氧指数为2.94。焙解温度达到500℃时，氧指数为2.90，蓝钨的色泽为墨蓝色。随着温度继续升高部分蓝钨以转化为WO_2.72产物，这时蓝钨色译进一步加深，氧指数也进一步减少。当焙解温度达到550℃时，开始出现紫色的WO_2.72，但大部分保留蓝钨的色泽，形成了不均匀的混合物。


 

钨产品生产商、供应商：中钨在线科技有限公司
产品详情查阅：http://www.tungsten-powder.com
订购电话：0592-5129696 传真：0592-5129797
电子邮件：sales@chinatungsten.com
钨钼文库：http://i.chinatungsten.com
钨新闻、价格手机网站，3G版：http://3g.chinatungsten.com
钼新闻、钼价格：http://news.molybdenum.com.cn
关注微信公众号“中钨在线”，了解每日最新钨钼价格

经过实验发现影响蓝色氧化钨（蓝钨）性能的主要因素有原材料粒度的大小和工艺生产条件等。而工艺生产条件主要包括焙解温度、氢气流量和焙解时间等。氢气流量和焙解时间对蓝钨形貌和颗粒的影响主要是在一定的焙解温度下，随着氢气流量的减少蓝钨颗粒有长大的趋势，表面裂纹也会加粗，且均匀性变差。反之，氢气流量加大颗粒有变细的趋势。主要是因为氢气的渗透和压力的增高，改变了内应力，这种内应力会导致晶格发生畸变，造成颗粒的崩裂。因此颗粒容易破裂而产生细颗粒粉末。而焙解时间对蓝钨的影响主要是焙解时间越长，蓝钨颗粒会增大，表面裂纹也会增大。经过实验证明，焙解温度在400~500℃，焙解时间为30~40分钟，氢气流量1.51ml/min，可以制得裂缝多均匀性好的蓝钨。

 

钨产品生产商、供应商：中钨在线科技有限公司
产品详情查阅：http://www.tungsten-powder.com
订购电话：0592-5129696 传真：0592-5129797
电子邮件：sales@chinatungsten.com
钨钼文库：http://i.chinatungsten.com
钨新闻、价格手机网站，3G版：http://3g.chinatungsten.com
钼新闻、钼价格：http://news.molybdenum.com.cn
关注微信公众号“中钨在线”，了解每日最新钨钼价格

随着科学技术的发展，对蓝色氧化钨的质量要求更加严格。而蓝钨的颗粒度和形态形貌是影响蓝钨性能的重要因素。经实验可知原材料和制备工艺是影响蓝钨颗粒大小的重要原因。

在原材料方面的影响主要是它的颗粒大小，原材料的颗粒细度越细，制得的蓝钨颗粒越细，更加均匀。而在工艺方面对蓝钨粒度和形貌影响的主要因素有焙解温度、氢气流量和焙解时间等。焙解温度对蓝钨的影响主要表现在一开始随着焙解温度的升高，裂缝和裂纹明显增加，由规则的晶体转变为不规则的较细小的颗粒晶体。但等反应达到一定的程度温度再升高，裂缝会减少。同时焙解温度对颗粒度也有一定的影响，在400℃时蓝钨颗粒均匀性较好，随着温度的升高，颗粒的均匀性下降，颗粒也有长大的现象。

 

钨产品生产商、供应商：中钨在线科技有限公司
产品详情查阅：http://www.tungsten-powder.com
订购电话：0592-5129696 传真：0592-5129797
电子邮件：sales@chinatungsten.com
钨钼文库：http://i.chinatungsten.com
钨新闻、价格手机网站，3G版：http://3g.chinatungsten.com
钼新闻、钼价格：http://news.molybdenum.com.cn
关注微信公众号“中钨在线”，了解每日最新钨钼价格