通過界面空洞的自我分離一個厚的氮化鋁層從藍寶石襯底上通過藍寶石的分解

一種技術用於分離氫化物氣相外延（HVPE）在藍寶石襯底上生長的厚氮化鋁層的開發，通過在含有氫氣和氨氣的氣體流1450 ℃熱處理時許多空隙可以形成於在1065 ℃生長的薄（100nm）的氮化鋁層和藍寶石襯底之間的界面處由於藍寶石的優先分解。在一個厚（ 85微米）的氮化鋁層，從與所述界面空隙的援助的藍寶石襯底分離的厚的氮化鋁層的隨後生長之後的冷卻過程。這樣獲得的獨立的氮化鋁基板具有光滑的表面，為1.1的位錯密度×109厘米² ，而對於波長高於208.1納米的透光性。

氮化鋁的單晶層被生長在藍寶石襯底1000和1100 ℃下的氯化鋁與氨的氣相反應之間。的純度，顏色，結晶度，生長形態，並且外延層的電阻率進行了研究。紅外線鏡面反射的測量有可觀的應變在氮化鋁-藍寶石外延界面的存在。光吸收數據有力地表明在氮化鋁是一種直接帶隙材料具有約6.2eV的在室溫下的值。


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