緩沖層的氮化鎵中的金屬有機氣相外延在藍寶石襯底上的效果

高質量的氮化鎵薄膜具有表面光滑，無裂紋，可以通過金屬有機氣相外延（ MOVPE ），使用薄的氮化鋁緩沖層生長在藍寶石襯底上。在緩沖層中最重要的角色被發現的成核位點具有相同的晶體取向的襯底的供應，以及促進的氮化鎵的橫向生長是由於界面自由能的減少在襯底和外延氮化鎵膜之間。

氮化鎵和GA1 - xAlxN （ 0 <X ≦ 0.4 ）的藍寶石襯底上生長了MOVPE薄膜被發現由許多馬賽克與晶體不同取向的。由前面的薄氮化鋁緩沖層的沉積，在晶粒取向的微小變動，能夠大幅度減小，並且薄膜的結晶質量顯著提高。兩者的厚度和所述氮化鋁層的沉積溫度被發現是最佳的作為緩沖層來傳達所述基板的信息，如晶體取向和放松在此異質外延生長的應變。在氮化鋁緩沖層的主要作用被認為是具有相同的取向基板和促進該膜的橫向生長，由於薄膜和襯底之間的降低界面自由能成核中心的供給。


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