薄膜厚度對氧化鋅薄膜沉積在藍寶石襯底上用PLD的結構和光學特性變化的影響

詳細內容: 分類：藍寶石長晶爐-鎢制品新聞; 發佈於：2014-01-13, 週一 15:14; 點擊數：1367

氧化鋅薄膜沉積在藍寶石基板上以利用脈沖激光沉積（PLD）法，以調查了薄膜的結構和光學性質的各種厚度。沉積條件對紫外線發射性能進行了優化。結構和光學性能進行了表征與X射線衍射和光致發光（PL）。在氧化鋅膜的厚度導致的結構和光學性質的改善所致。這種增強可能是由於應變在由膜厚度的增加，氧化鋅膜和藍寶石襯底之間的界面下降。

氮摻雜的氧化鋅層生長在藍寶石襯底上通過自由基源分子束外延通過經由射頻自由基源同時引入氧氣和氮氣。反射高能電子衍射和X射線衍射測量結果表明，高氮氣/氧氣流量比誘導生長雙胞胎到氧化鋅層。用10％的氮氣/氧氣的流量比被發現有1×1019厘米^-3的化學氮濃度的氮摻雜氧化鋅制成。然而，盡管大的氮結合，觀察到誘導延長的缺陷從n型的類型轉換為p型的並沒有出現。

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