藍寶石襯底縮增長方式Ⅲ族氮化物發光二極體的有機金屬氣相外延
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- 分類:藍寶石長晶爐-鎢制品新聞
- 發佈於:2014-01-14, 週二 13:43
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氮化鎵上進行的藍寶石襯底金屬有機氣相外延( MOVPE )生長,發光二極管(LED)的特性上生長圖案化藍寶石和平面襯底的設備進行了比較。該藍寶石基板是由一種新的方法(急切),據此,鋁通過兩階段退火過程中被外延地轉化為結晶氧化鋁制成。生長在藍寶石襯底上的氮化鎵模板是通過一個縮寫生長模式,其中使用了一個15納米厚的低溫氮化鎵緩沖層完成,而不外延過程中使用回蝕和恢複過程。
InGaN量子阱(量子阱)的LED生長在藍寶石氮化鎵模板上,采用縮寫的增長模式。生長圖案化急切藍寶石襯底上的優化的InGaN量子阱發光二極管表現出在輸出功率的24 %的改進相比,在氮化鎵 LED的使用常規方法模板生長。在LED的輸出功率的增加是由於LED的改進的內部量子效率。
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