藍寶石襯底縮增長方式Ⅲ族氮化物發光二極體的有機金屬氣相外延

 
 

氮化鎵上進行的藍寶石襯底金屬有機氣相外延( MOVPE )生長,發光二極管(LED)的特性上生長圖案化藍寶石藍寶石襯底和平面襯底的設備進行了比較。該藍寶石基板是由一種新的方法(急切),據此,鋁通過兩階段退火過程中被外延地轉化為結晶氧化鋁制成。生長在藍寶石襯底上的氮化鎵模板是通過一個縮寫生長模式,其中使用了一個15納米厚的低溫氮化鎵緩沖層完成,而不外延過程中使用回蝕和恢複過程。

InGaN量子阱(量子阱)的LED生長在藍寶石氮化鎵模板上,采用縮寫的增長模式。生長圖案化急切藍寶石襯底上的優化的InGaN量子阱發光二極管表現出在輸出功率的24 %的改進相比,在氮化鎵 LED的使用常規方法模板生長。在LED的輸出功率的增加是由於LED的改進的內部量子效率。


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