鈦摻雜WO3電致變色薄膜可以通過濺射沉積法製備得到。有專家採用金屬鎢鈦合金（含鈦品質分數6%）作為靶材，使用鍍膜機通過脈衝直流電源在FTO透明導電玻璃基底上反應濺射沉積了鈦摻雜三氧化鎢（WO3:Ti）薄膜。

有專家利用紫外可見光分光光度計對鋰摻雜三氧化鎢電致變色薄膜進行變色前後的光學對比度測量。具體地，先把乾燥後的高氯酸鋰溶解於碳酸丙稀酯中，配製成1mol/L的電解液，再將基片接在陰極置於電解液中，並通入3V電壓待其變色，隨後反向加壓致其褪色再測試，如下圖“鋰摻雜後三氧化鎢薄膜光吸收度圖”所示。

專家採用金屬鎢與鎢鈦合金靶材，通過脈衝直流反應磁控濺射法製備得到鈦摻雜WO3薄膜。

一提到電致變色，尤其是無機電致變色材料，很多人會想到三氧化鎢，也有一些人會想到摻雜氧化鎢薄膜，其中，鋰摻雜WO3薄膜估計也能占個一席之地。當然，也不乏有人想到Li摻雜氧化鎢薄膜的電化學性能測試。