鈦摻雜WO3電致變色薄膜

鈦摻雜WO3電致變色薄膜可以通過濺射沉積法製備得到。有專家採用金屬鎢鈦合金（含鈦品質分數6%）作為靶材，使用鍍膜機通過脈衝直流電源在FTO透明導電玻璃基底上反應濺射沉積了鈦摻雜三氧化鎢（WO3:Ti）薄膜。

更多內容請訪問：
http://www.tungsten-powder.com/traditional/tungsten_oxide.html

濺射前，專家將鍍膜腔室本底真空抽至低於4.5*10-4Pa，高純氬氣（99.9%Ar）作為工作氣體，高純氧氣（99.9%O2）作為反應氣體，固定工作氣壓1.7Pa，通入Ar流量15sc/cm，O2流量13sc/cm，通過改變基片溫度分別為室溫、200℃、300℃、350℃，沉積了不同基片溫度的Ti摻雜三氧化鎢薄膜，並探討了不同基片溫度對WO3:Ti薄膜結構與性能影響。

• < 前一頁
• 下一個 >