納米結構三氧化鎢可以採用濺射法、水熱法、溶膠凝膠法、熱蒸發法、化學氣相沉積法、陽極氧化法以及範本法等方法製備得到。

有專家提出一種製備形貌良好、由單斜相三氧化鎢納米片構成的具有高光電性能的WO3薄膜的方法，具體步驟如下：

三氧化鎢是一種重要的無機光致變色材料，在智慧窗方面具有較好的應用前景。此外，WO3在光催化、大螢幕顯示、高密度資訊存儲等領域中也具有較好的應用前景，因而，引起了科學家的廣泛關注。

高光電性能氧化鎢薄膜可以採用水熱法製備得到。其中，專家採用鹽酸和雜多酸共同酸化。他們發現，在酸化過程中摻入少量的雜多酸就能較大幅度地提高制得的WO3薄膜的光電性能。下面主要介紹該種方法製備高光電性能WO3薄膜的具體步驟：