六氟化鎢規模化製造

六氟化鎢(WF₆)，無色氣體或淺黃色液體，固體為易潮解的白色結晶，在潮濕空氣中冒煙。六氟化鎢是目前鎢的氟化物中並被工業化生產的品種，主要用途是用於鎢的化學蒸鍍，用作氟化劑，高溫下可被氫及其他還原性氣體還原為金屬鎢和HF，該反應是六氟化鎢作為原材料廣泛應用於電子工業中生產超大規模集成(VLSI)半導體器件、尤其是動態隨機存取記憶體(DRAM)和高性能微處理器的工藝技術的基礎。

隨著新興技術的發展，特殊氣體需求品類繁多，國內從業企業技術水準參差不齊，市場供求從量上看供大於求，產能過剩；但是就質而言，能達到特殊氣體技術要求的只占產能的36%，因此，符合特殊氣體技術要求的特殊氣體供給短缺，基本依賴進口。可見，特殊氣體生產從業者，只有技術進步，才能滿足特殊氣體使用品質要求。近日，知名企業歐中電子投資的中國首個大型六氟化鎢生產基地在渝開工，彌補了我國電子特氣規模化製造的空白。

據瞭解，企業採用的已申請專利的六氟化鎢生產工藝，其操作性能安全可靠、系統運行穩定、可實現連續性生產和連鎖自控。其工藝大致如下：

將30kg原料100目的鎢粉加入已裝有三氟化鈷(粉末)的反應器(尺寸為￠89×4.5 ×1000)內，與設備管道均進行脫水乾燥作業(加熱抽真空，水含量≤3ppm)，然後將反應器加熱至反應溫度條件。反應時，將氟氣經壓縮機將壓力提高至2bar後經吸附器通入反應器內進行反應，反應溫度在300℃，進氣流量設在120L/min左右；反應器排出的尾氣經篩檢程式進入低溫收集罐冷凝收集WF6，收集溫度為-5℃；篩檢程式的作用主要是除去尾氣中粉塵、顆 粒等固體物質；吸附器的作用是吸附尾氣內含有的HF雜質；進入低溫收集罐的尾氣中WF₆在低溫下(低於其沸點溫度)逐步冷凝成液體，尾氣中未被冷凝的氣體再經壓縮機增壓打回至反應器內進行反應。收集到的WF₆再進提純系統進行純化制得高純WF₆。

六氟化鎢產品主要用於半導體製造工藝中，這對它的純度要求很高，工藝採用的原料氟氣和鎢粉分別選用為5N氟氣和3N鎢粉,工藝的效果和性能已經較為成熟。

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