六氟化鎢提純工藝

六氟化鎢，化學式為WF₆，是一種無色氣體，冷凝時，為淡黃色液體，摩爾品質為 297.83g/mol，是密度最大的氣體之一。六氟化鎢主要用於化學氣相沉積鎢，也用於製備低電阻、高熔點的互連線和大型集成線路電子元件，抗X射線或γ射線的保護罩，高效太陽能吸收器。

關於六氟化鎢的合成，目前最主要的合成路線還是以氟氣作氟化劑的工藝，少數廠家會以NF₃作為氟化劑合成六氟化鎢。其中以NF₃來合成六氟化鎢，成本太高，反應效率有限，並不適合於國內工業化生產。而以氟氣作氟化劑的工藝均是通過使氟氣流過金屬鎢(顆粒狀或 粉末狀)的流化床或固定床來合成的，但該工藝也屬於氣固反應，氣體只在鎢表面反應，接觸面積有限，存在反應效率低，未反應原料氣體浪費等問題。

據此，歐中特氣研究中心研究出了多項六氟化鎢提純技術，例如以下工藝：

1.將所述的鎢粉和金屬氟化物裝入反應器中，並通過攪拌充分混合；

2.將所述的原料氟氣在反應溫度條件、反應壓力條件下通入所述的反應器中反 應，反應後排出的氣體為由未反應的原料氟氣和生成的六氟化鎢組成的混合氣體；

3.將所述的混合氣體經篩檢程式除去固體顆粒後，通入低溫收集罐中進行六氟化鎢 粗產品的收集，而未冷凝下來的原料氟氣再經壓縮機增壓返回反應器重新進行反應；

4.所述的原料氟氣的加入量，可看反應系統內壓力變化情況來定；

5.將收集的六氟化鎢粗產品輸送到純化系統，經乾燥、吸附、精餾制得高純的六氟化鎢產品。

研究表明，該工藝氟利用率達95％，得到的六氟化鎢粗產品再經後續純化工藝(乾燥、吸附、精餾)，可制得5N的六氟化鎢氣體。工藝優勢在於使用迴圈的原料氟氣和鎢粉在金屬氟化物的存在下進行反應，有效提高了該反應的效率，減少了原料氟氣的浪費，並有效減小反應器所需體積；

鎢粉能與氟氣重新生成高價的氟化物，有效提高了反應效率，還降低了氟氣濃度對反應的影響並且反應溫度較低，降低了能耗。

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