三氧化钨薄膜材料制备及其性能(一)

目前制备三氧化钨薄膜的方法有:蒸发法、溅射法、溶胶凝胶法、电子束蒸发法、化学蒸气沉积法、阳极氧化法、电沉积法、脉冲准分子激光、沉积法、离子镀法等。由于很多方法技术复杂、工艺条件苛刻,因此其应用受到限制。目前使用较多的是蒸发法、磁控溅射法、溶胶凝胶法等,溅射法具有稳定、方便、快速、薄膜均匀等优点,蒸发法也具有快速、稳定、薄膜纯度高的优点,但都存在仪器庞大、昂贵的问题,所以很多小型实验室采用仪器简单、成本低、易大面积成膜的溶胶凝胶法。
 
(一)溅射法
 
溅射法是指荷能粒子轰击固体表面(靶),使固体原子(或分子)从表面射出,并沉积到衬底或工件表面形成薄膜的方法,属于物理气相沉积的一种。溅射法又分为直流溅射、射频溅射、磁控溅射、反应溅射、中频溅射与脉冲溅射、偏压溅射、离子束溅射等。其中磁控溅射技术因具有沉积速度较高、工作气体压力较低等独特优越性,成为应用最广泛的一种溅射沉积法。
 
用溅射法制备纳米薄膜材料有以下优点:1)可制备多种纳米金属, 包括高熔点和低熔点金属;2)能制备多组元的化合物纳米薄膜材料;3)制备参数易控制、粒径较均匀。
 
 
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三氧化钨薄膜

气敏传感器最重要的组成部分之一就是气敏元件。传感器的灵敏度、选择性很大程度上依赖于气敏元件的性能,一般的气敏元件都是薄膜材料。对三氧化钨薄膜的研究20年前就已开始,大多数是对电致变色、光致变色、电化学、气敏性等性能的研究。
 
对于氢敏传感器而言,三氧化钨薄膜具有巨大潜力,当三氧化钨与氢气接触后最直观的变化就是薄膜由透明变为蓝色,同时可以用各种光学仪器测得薄膜光学性能发生了相应变化,所以三氧化钨薄膜是较好的氢敏材料,在掺杂一定的稀有金属后能大大地改善三氧化钨薄膜的氢敏特性,例如掺杂钯、铂等。三氧化钨薄膜不仅能用作氢敏传感器,掺杂不同元素后在不同的条件下还可用作其它气体如NH4、NO2、H2S、O3、O2等的敏感材料。
 
三氧化钨薄膜材料是一类应用非常广泛的功能材料,具有十分广阔的应用前景。该材料可用于电致变色显示、电致变色灵巧窗以及电致变色无眩反光镜等。在不同的应用领域,对电致变色薄膜材料的各项性能有不同的要求。
 
 
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制备纳米三氧化钨-一维纳米结构(三)

(5)其他形貌的纳米三氧化钨
除上述几种常见的纳米形貌以外,近几年人们还制备出特殊和混合物形态的纳米结构。其目的是通过形貌改善和结构设计来提高纳米WO3气敏材料的灵敏度和选择性。有学者采用水成法制备出了WO3•H2O纳米方块及花状纳米结构,通过改变H2C2O4/NaWO4的比例来控制WO3•H2O纳米结构。当H2C2O4/NaWO4为0.25 :1 时,可制得平均尺寸为150nm,厚约25nm的方块,当H2C2O4/NaWO4达到1.5:1时,纳米方块开始聚集形成花状,反应时间和干燥温度不同,花状纳米结构也不同,图(a)为反应1小时,干燥温度为90℃制得的WO3花状纳米结构。还有些学者通过Na2WO4•2H2O的酸化得到WO3纳米薄片,再通过水热法制备出了单斜WO3纳米方块,厚约97nm,如图(b)所示。由气敏测试结果表明,WO3纳米方块对NO2的检测浓度可低至40ppb。
 
花状纳米WO3,纳米方块WO3
 
 
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购买钨合金飞镖的要领(二)

钨合金镖身花纹。镖身上的花纹自然有装饰的作用,但更主要的是防滑。花纹主要分为两类,环状和凸起小粒。选择的标准就是自己握镖的感觉舒服。选择购买时要看它的圆槽的边缘是否做得很薄,这样很上手,无论是你的手出汗还是发干,手都不会打滑。

钨合金镖尖是否固定。随着生产制造水平的提高,不在是清一色的固定镖尖了,出现了很多可以更换钨合金镖尖的飞镖。其中有的可更换镖尖还称为动力尖,那是因为镖尖装在镖身上以后,它还可以前后活动,有的就是干脆在镖身上加了一个弹簧。这种飞镖在扎到镖盘上的铁丝后,会自动伸缩减力,大大减少了飞镖被铁丝弹回的可能性。很多18克以下的软式飞镖,也是可以换上钨合金飞镖镖尖当作硬镖来用的。随着软式飞镖的普及和比赛的增加,有不少国内选手开始改用16克或18克的软式飞镖,在打软式和硬式比赛时,只要更换一下镖尖就可以了,避免了由于更换重量、形状差别很大的两种飞镖,影响成绩的情况。当然,可换钨合金飞镖镖尖,特别是动力尖飞镖的价格比传统的固定飞镖要高出不少,你在选择时,要根据自己钱包的大小,量力而行。

 

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制备纳米三氧化钨-一维纳米结构(二)

(3)纳米管
国内学者采用溶胶-凝胶法以AAO为模板制备出了高度有序的WO3纳米管阵列,其管壁很薄,壁厚约为10nm,直径为100nm ,与模板孔径一致,如图3所示,研究中还发现可以通过浸泡时间来控制WO3纳米管的壁厚。等采用简单的熔盐法在600℃制备了WO3一维纳米管状结构,其外径为100~200nm,内径为30~50nm,长度为十几微米。其气敏性能测试结果表明,元件对乙醇,丙酮和汽油呈现出了很明显的选择性和规律性。其中,在340℃时元件对丙酮的灵敏度(Ra/Rg)达到最高值,为32.7。
纳米管,纳米带
(4)纳米带
国内学者以Na2WO4、K2SO4和H2C2O4为制备材料,采用两步水热法合成了六方相WO3纳米带。此研究中得到的纳米带形貌保持较好,宽度在100~300nm间,很薄,长度达到微米级,且纳米带长轴为[001]方向,水热处理前驱物纳米带生成六方相WO3纳米带的反应温度和时间分别为180℃和48h。Wei WU等人在没有使用催化剂的情况下采用化学气相沉淀法(CVD)在硅片上制取了正方结构的WO3纳米带,其宽度范围在50~100nm 之间,长度达数十微米,沿[001] 方向生长,如图4所示。
 
 
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