CVD鎢管縱向裂紋的產生原因

CVD鎢管縱向裂紋的產生原因主要是:鎢管內壁的沉積方式和沉積工藝過程沒控制好。根本原因是,鎢管內壁收縮產生的拉應力(冷卻速度過快、氣體通入量太大)導致的。由於生長晶粒界處的應力集中,所以這些部位易產生裂紋。鎢管的生長柱狀晶沿徑向方向生長,導致裂紋迅速向晶界內擴展。

鎢管內壁的沉積是通過加熱外壁使沉積基體升溫至沉積溫度。

在沉積的冷卻過程,沉積鎢管內壁因氫氣的不斷通入而迅速降溫,而其外壁的降溫速度相對而言會比較緩慢。

 

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藍色氧化鎢制取細鎢粉的要求

細鎢粉被廣泛應用與各個領域,但是對它的製備過程工藝條件和原料要求却很嚴謹。采用藍色氧化鎢(藍鎢)爲原料制取超細鎢粉也有一定的原料質量要求。其中包括藍鎢的雜質含量、粒度大小和揮發物等要求。
藍鎢雜質含量的要求,藍鎢的純度和雜質含量均直接影響鎢粉的粒度和質量,要想製備性能良好的鎢粉選擇優質藍鎢是生産細鎢粉的重要環節。因爲雜質本身往往會成爲氧的載體,將延緩氧在粉末層內的滯留時間,促進化學氣相遷移的進行會導致鎢粉顆粒的長大。而粒度對鎢粉的影響主要表現在當費氏粒度從7.90um增加到12.94um時,所得的鎢粉的粒度從1.17um减小到0.99um,這說明粗顆粒的藍鎢更有利于製備細鎢粉。最後是對藍鎢中揮發物的要求,藍鎢中不同的殘留揮發物例如NH3和H2O會使得爐內的氫氣濕度增大,對制取細鎢粉不利。


 

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從γ-氧化鎢到鎢粉的還原過程

藍鎢在還原鎢粉的過程中主要相成分是β-氧化鎢(WO2.9),γ-氧化鎢(WO2.72)、二氧化鎢(WO2)和鎢粉。從藍鎢到γ-氧化鎢的還原過程中,γ-氧化鎢顆粒表面變得更加粗糙,形狀爲針狀或者棒狀,且排列不規則。這個形態有利于反應的進行和制取超細鎢粉。而γ-氧化鎢隨著反應的進行轉變成爲二氧化鎢,這時的二氧化鎢顆粒變得較爲緻密,形狀似鎢粉的顆粒形貌。在這個過程中如果控制好工藝條件,可以用γ-氧化鎢制取亞細或者超細鎢粉。而最後一個還原階段時二氧化鎢到鎢粉的過程,二氧化鎢到鎢粉的還原過程中鎢粉的顆粒形貌幾乎不發生變化,一個二氧化鎢晶粒變成一個鎢粉晶粒。因此鎢粉的形貌變化過程主要是發生在二氧化鎢生成以前,把握好生成二氧化鎢之前的工藝條件是獲得性能良好的鎢粉的關鍵。

 

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仲鎢酸銨性能

仲鎢酸銨是含有鎢和氨的潔白色晶體,稍溶于水,不溶於醇,化學分子式為(NH4)10(H2W12O42)·4H2O。仲鎢酸銨的生產是通過從鎢礦中分離鎢。仲鎢酸銨製備完成後,將其至於600攝氏度的環境中加熱分解,失去氨和結晶水,轉變為三氧化鎢。偏鎢酸銨可被用作催化劑,電容器,核遮罩,阻燃劑,減蝕劑的原材料。也可用於製備超細鎢粉,高比重鎢合金粉,磷鎢酸,砷鎢酸、矽鎢酸的優良原料。

在不同的晶體條件下有不同的化學式:

(1)3(NH4)2O - 7WO3 - 6H2O

(2)5(NH4)2 - 12WO3 - 5H2O

(3)5(NH4)2O - 12WO3 - 5H2O

(4)5(NH4)2O - 12WO3 - 11H2O


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偏鎢酸銨物理性能

偏鎢酸銨是無機化合物,它的分子式為H8N2O4W,分子量為283.9145。CAS 號為11120-25-5;14311-52-5。它是白色或淺黃色的晶體,無有害成分,呈弱酸性。二十攝氏度時在水中的溶解度為303.99/loogH:O,溶解液穩定,不溶於醇。

偏鎢酸銨可被用作催化劑,電容器,核遮罩,阻燃劑,減蝕劑的原材料,也可用於製備超細鎢粉,高比重鎢合金粉,磷鎢酸,砷鎢酸、矽鎢酸的優良原料。也可被用作為作為化學分析試劑;製備高純度三氧化鎢的原材料,可被用於一些半導體設備的薄膜襯底;鎢化工業的高純度原材料;DENOX催化劑的原材料;金屬氧簇化合物的軀體。


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