酸化タングステン増加した酸化チタン光機能特性の改善

酸化タングステン増加した酸化チタン光機能特性の改善では，表面へのタングステン付与及びイオン注入を用いた二つの方法で検討を行っている．

酸化チタンへのタングステン付与については既にいくつかの報告があるが，これまで反応性スパッタリング法でタングステン添加された酸化チタンはアモルファスまたはアナターゼに関するもので，可視光化に有利とされるルチルについての報告は少ない．特に光伝導特性は，価電子帯や不純物準位にある電子が光子のエネルギーを吸収し伝導帯へ励起され導電性が増すとされている．

そこに金属添加をした場合，主に伝導帯の位置が変化するだけでバンドギャップが小さくなっても還元力が減少してしまう問題がある．しかし付与したタングステンは酸素供給を受け一部酸化タングステンへ移行するため，酸化チタンより狭いバンドギャップを持つタングステン酸化物も形成されることで，酸化チタンが持つ吸収波長より長波長側での光反応も可能になると考えている．

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