酸化タングステンナノ素材の応用-湿度センサー（Ⅱ）

ポリビニルピロリドン（PVP）とポリビニルアルコール（PVA）コーティングのLiNbO3弾性表面波の部品の湿度の性能を探査して、PVPのコーティングのデバイスは5-95%相対湿度の範囲の内で部品挿入損失の変化が50dBに達することができる。応答時間は1.5秒で、回復時間は2.5秒で、この部品は性能が最高の湿度センサーである。一方、ナノ構造の酸化タングステンを湿敏材料として、ゾルゲルの技術を通じてナノ構造のWO3フィルムを得られる。また、相補金属酸化物半導体（CMOS）の技術を利用しては逆バイアス増幅回路とマイクロヒーターを一体する。25%-85%で湿度の範囲の線形検出を実現する。湿度が60％で感度が約4.5 mV/%RHである。WO3と銀混じりけのWO3フィルムの抵抗型湿度センサーを用いて、７００°C焼きなまし処理の銀ドーピングWO3湿度センサーで20-90%範囲内で20MΩ/%RHがより大きいを観察する。しかし、応答時間が長い29秒で、回復時間は２９０秒である。

表面弾性波湿度センサーの研究とナノ酸化タングステン湿度センサーの研究の進展を総合して、ダブル機能配位子小分子有機酸アンモニウムを用いてコーティング剤をつくる。低次元酸化タングステンナノ結晶として敏感膜を調整して、性能が優れているの表面弾性波デバイスを結び湿気探査を行う。これは比較的に面白いの視点で、酸化タングステンナノ結晶質の最適化と湿度センサーの性能が向上し、両者間の内部の関係を高める。

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