酸化タングステンナノ素材の応用-湿度センサー（Ⅰ）

湿度探査と制御はマイクロエレクトロニクス加工、室内の知的制御、生体のサンプルの育成、作物が温室で培養などの分野で広くの応用される。細かく監視の作用と影響は湿度センサーの研究が深く、人々はさまざまな改善と向上した装置の性能の方法と技術を設計と開発する。湿度センサーは一般材料の表面の水の分子物理化学的吸着によって材料の導電性質変化の法則を変えの設計加工である。様々な応答メカニズムを基づいて、湿度センサーはおもに容量型、抵抗型、光電型、と重力型などに分ける。

表面弾性波素子の特性を結び付けて、低次元ナノ材料及び複合物に表面弾性波湿度センサー敏感な膜の研究は特色を高く備えての新型検出の方法である。石英表面弾性波の部品の上を、ポリスチレンアセチレンやエネルギーなどの薄膜後に相対湿度の敏感性に比べて、TiO2フィルムのエネルギーの部品の応答と湿度の変化に従って線形最高の性能がよく良い。そして、ポリビニルアルコールフィルムは濡れ敏材料をとしてコーティングで二重共鳴音表面波発振器において、相対湿度20～75％の範囲内で非線形応答。カンフルスルホン酸ドープ聚苯胺を濡れ敏ユニットを利用して、128°Y切ってLiNbO3表面弾性波共振器を通して室温5%-90%相対湿度の範囲内の安定探査を実験した。結果はよくだ。

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