【WO3ナノ材料の製備】

WO3ナノ材料は、製造方法と構造によれば、焼結型、薄膜型、厚膜型に分ける。ここで、焼結型、厚膜型ガスセンサ素子も超微細粉末を原料とする。

 

【WO3ナノ薄膜の製備】

WO3ナノ薄膜の製備方法は多くあるが、薄膜の性質と製備方法は工芸条件と密接に関係する。

異なる製造方法で、WO3薄膜の大きさ及び晶型なども違う。よく見る方法は以下のようである。

 

【蒸発法】

 

高温で蒸発現象を利用し、様々な薄膜材料を調製することができる。蒸着法はより高い堆積速度と真空度、また、高薄膜純度などのいくつかの明白な利点を有る。

 

蒸着法は蒸発冷却蒸着法、電子ビーム蒸着法、アーク蒸着法、レーザー蒸着法、中空陰極蒸着、熱蒸着法を含む。その間、熱蒸発法はよく使われる。

 

蒸発により調製純度フィルムは高い、粒子が分散されている。圧力と温度制御された雰囲気を変えることによって、異なる粒子サイズのナノ薄膜を製造することができる。これは、低い融点、単一成分の薄膜と粒子状物質の合成に適する。

 

しかし、この製造方法は、一般に、複雑で高価な機器の製造、高温および真空条件を必要とするが、大面積の薄膜を調製するのに適しない。

 

 

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