[korean] 전고체 날렵한 창용 WO3 필름

WO3 필름은 무선 주파수 자기 제어 사출 법제를 통해 준비할 수 있으며, 전기 변색 필름으로서 전고체 날렵한 창문을 조립하는 데 사용되며, 가장 응용 전망이 있는 신형 에너지 절약 재료 중의 하나로 여겨진다.어떤 전문가는 이 법제를 통해 삼산화텅스텐박막을 준비하고 퇴적산화텅스텐박막의 제반 성능을 시험하였다.

자세한 내용은 다음을 참조하십시오.

http://tungsten-oxide.com/korean/index.html

그렇다면 무선 주파수 자기 제어 사출 법제 대비 WO3 박막의 공정 조건은 어떤 것이 있습니까?도금실 극한 진공은 1 × 10-3Pa, 사출 표적재는 소결 WO3 세라믹 표적, 표적 면적은 78cm2이다.사출기체 아르곤가스 및 작업기체 산소의 순도는 모두 99.999%, 사출기체 총압력은 1.1-2Pa, 산소분압은 0.1-0.2Pa, 표적전력밀도는 1.4-1.9W/cm2, 퇴적속도는 6-8nm/min, 퇴적시간은 15-20min이다.침적된 전기 변색막의 유효 면적은 5cm×5cm이다.침적 산화텅스텐 박막의 성능 테스트 결과는 다음과 같다: 표백 상태의 가시광선 투과율: > 82%;음영처리된 가시광선 투과율: <20%;응답 시간: <10s；오프로드 스토리지 시간: >24h（ΔT>20%）；작업 주기 > 105회;작동 전압: <±1.9V。

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