不同晶體形態三氧化鎢氣敏性能比拼

三氧化鎢（WO₃）是一種過渡金屬的氧化物，它既是一種 n 型半導體材料， 也是一種“d⁰”氧化物，這種雙重身份使其同時具備諸多特點，近年來，納米三氧化鎢作為一種潛能材料在各種應用領域特別是在氣敏感測器方面引起了廣泛關注。

三氧化鎢（WO₃）是一種過渡金屬的氧化物，它既是一種 n 型半導體材料， 也是一種“d⁰”氧化物，這種雙重身份使其同時具備諸多特點，近年來，納米三氧化鎢作為一種潛能材料在各種應用領域特別是在氣敏感測器方面引起了廣泛關注。

（1）納米棒狀WO₃氣敏元件在乙醇、丙酮，氨氣和甲醛氣體中的最佳工作溫度分別為350℃、300℃、325℃和 250℃，均在氣體濃度 1000 ppm 時靈敏度達到最大，分別為 21.29、10.82、24.32 和 9.68；氣敏元件對四種氣體的最低檢測濃度分別為100ppm、50ppm、25ppm和100ppm。

（2）納米板狀WO₃氣敏元件在四種氣體中的最佳工作溫度分別為350℃、300℃、325℃和250℃，均在氣體濃度 1000 ppm時靈敏度達到最大，分別為25.4、18.52、30.29 和18.31，氨氣的靈敏度數值最大為30.29；納米板狀三氧化鎢氣敏元件對四種氣體的最低檢測濃度分別為 50 ppm、50 ppm、25 ppm和100 ppm，其中，在氨氣氣體濃度為25 ppm時靈敏度即為2.81，說明納米板狀三氧化鎢氣敏元件對低濃度氨氣極為敏感。

（3）納米板棒狀三氧化鎢氣敏元件測試四種氣體的最佳工作溫度分別為350℃、300℃、300℃和 250℃，均在氣體濃度為1000 ppm時靈敏度達到最大，分別為 9.11、8.73、14.23 和6.89氣敏元件對四種氣體的最低檢測濃度分別為 200 ppm、50 ppm、50 ppm 和 100 ppm。

通過氣敏測試結果表明，三種晶形的三氧化鎢各有所長，但綜合對比，板狀納米三氧化鎢不論是從最低檢測濃度或靈敏度的表現來看，其性能均稍優於其它兩種晶形的三氧化鎢。

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