溶膠－凝膠法製備三氧化鎢薄膜

薄膜敏感材料是研究和開發集成感測器和智慧感測器的基礎，納米三氧化鎢是一種很典型的 N 型半導體氣敏材料，它具有較大的比表面積、穩定的化學性質、帶隙較寬，對多種有毒氣體都具有較好靈敏度，可以有效地提高氣敏元件的靈敏度和回應速度，是良好的氣敏薄膜材料。

溶膠－凝膠法是國外採用較多的一種納米材料製備方法，其原理是將配製好的前驅物(如無機鹽或金屬醇鹽)溶于小分子溶劑中，通過攪拌等方式制得均勻的溶液，溶質與溶劑發生水解反應，水解產物經縮聚反應集成納米級顆粒並形成溶膠。在制得溶膠的基礎上，可以採取不同的工藝製備不同性能的納米薄膜、超細粉末等。

應用溶膠－凝膠法製備WO₃薄膜有以下幾種途徑：1. 鎢酸鹽酸化法；2.鎢粉過氧化聚鎢酸法；3.鎢酸鹽膠體溶液通過離子交換製備；4.聚合物法。

傳統的溶膠—凝膠法多採用控制 pH值、溫度以及加入表面活性劑等手段，控制粉體的細微性 . 近來，有學者通過增加反應介質的粘度 ，成功控制了WO₃ 粉體的細微性. 用羧甲基纖維素（CMC ）水解溶液作為反應介質，鎢酸鈉作為先驅體與鹽酸反應生成鎢酸的凝膠反應在其中進行， 經過老 化、 過濾 、烘乾 ，60 0℃ 鍛燒脫除結晶水制得 20-3 0 n m之間的WO₃相對于傳統凝膠法，，CMC增加了水解液的粘度，抑制了膠體粒子的生長速度，所以用這種方法可以制得尺寸很小的納米粒子。

溶膠－凝膠法具有反應溫度低、產物成分易控制、顆粒的粒徑較小，粒徑分佈較窄且均勻、粉體純度高等優點；同時，也存在很多問題，如原材料的價格較貴，所得產物在乾燥的過程中較易團聚，合成的週期也很長，所以，在時間就是金錢的當下，即使是凝膠法所制取的三氧化鎢薄膜氣敏性能優良，但是成本難以控制，所以難以規模化生產。

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