電沉積法製備納米三氧化鎢薄膜

氣敏元件感測器作為新型敏感元件感測器，被國家列為重點支援發展的對象，目前應用最廣泛的是可燃性氣體氣敏元件感測器，己普及應用於氣體洩漏檢測報警和監控，從工廠企業到居民家庭，應用十分廣泛。

納米三氧化鎢是一種優良的 N 型半導體氣敏材料，相較于傳統材料，納米三氧化鎢氣敏感測器，靈敏度高，回應速度和恢復速度更快更好，是近年來被研究最多的氣敏原材料。

合成納米三氧化鎢或薄膜的方法通常有氣相法、固相法，液相法。電沉積法是一種氣相製備納米三氧化鎢薄膜的方法，它是在一定的電解質和操作條件下，金屬或合金從其化合物水溶液、非水溶液或熔鹽中電化學沉積。

電沉積法在製備WO₃薄膜時的基本過程是：首先用H₂O₂以一定比例溶解W粉，然後祛除過量的H₂O₂，得到電解質溶液並讓其自然沉積，再以Pt作為工作電極，以另一種物質為對電極，通入電流電解沉積，Pt電極上即可得WO₃薄膜。有學者用此方法在Ti基體表面製備了WO3薄膜。基本過程為：先向 10 m L 30％的H2O2中加入 2g鎢粉，待放熱反應結束後，再加入100mL蒸餾水和 30m L丙醇，得到製備WO₃薄膜所需電解質溶液。用飽和甘汞電極為對電極，在室溫下以 450 m V電壓電解 1 小時，產物用蒸餾水和乙醇反復清洗，並經過適當的熱處理後，即可在基片上得到WO₃薄膜。

電沉積法相對與其它方法，其設備較簡單，可控性強，鍍膜比較均勻而且也可以進行製備複合薄膜。但受到鍍膜面積的影響，所制得的WO₃薄膜面積較小。

• < 上页
• 下页 >