熱蒸鍍工藝製備三氧化鎢導電薄膜電極

導電薄膜電極是有機電致發光器件（OLED）的基礎構件，其性能的優劣直接影響著整個器件的發光效率。其中，透明導電薄膜是把光學透明性能與導電性能複合在一體的光電材料，由於其具有優異的光電特性，可廣泛應用於太陽能電池，LED，TFT，LCD及觸控式螢幕等螢幕顯示領域。

隨著器件性能要求的提高，用於作為器件陽極的透明導電膜的性能也在要求提高。對於器件出光效率的需要，很多研究機構都在設法在陽極與基板之間插入散射層。 高性能的器件，還要求陽極有較高的表面功函數，使其與其他功能層的能級相匹配，降低勢壘，提高載流子注入效率，最終達到高的電光效率。

基於此，有企業採用一種有機電致發光器件，其包括依次層疊的陽極、發光層以及陰極。其中陽極包括依次層疊的襯底、銀層及三氧化鎢層，銀層所採用的材料為直徑為50nm～500nm的銀納米線，三氧化鎢層採用直徑為8nm～80nm的的納米線。

在發光器件中，銀層及三氧化鎢層採用熱蒸鍍工藝製備：

1、將襯底通過酸處理，接著用丙酮和乙醇超聲清洗，烘乾後將所述襯底放入 管式爐的石英管中； 設置管式爐的石英管的真空度為102Pa~103Pa，溫度為350℃~700℃，然後向管式爐的石英管中通入惰性氣體，所述惰性氣體的流速為50cm3/min～180cm3/min；

2、先將銀粉放置在舟中，將所述舟放置在管式爐的石英管中；所述銀粉的蒸發時間為10分鐘～40分鐘，在所述襯底表面形成銀層，停止蒸鍍所述銀層；

3、將三氧化鎢粉放置在舟中，將所述舟放置在管式爐的石英管中；三氧化鎢粉的蒸發時間為3分鐘～20分鐘，在所述銀層表面形成所述三氧化鎢層，停止蒸鍍所述三氧化鎢層，繼續通入惰性氣體冷卻到室溫；及 剝離所述襯底，得到所述層疊的銀層及 三氧化鎢導電薄膜電極。

上述導電薄膜通過在銀層的表面沉積三氧化鎢薄膜製備雙層導電薄膜，導電薄膜做成納米線的集合，具有較高的表面功函數，又能保證高的透光，有利於器件的出光效率提高，導電薄膜在470~790nm長範圍可見光透過率88%~90%，方塊電阻範圍15~85Ω/□，表面功函數4.8~5.1eV；使用該導電薄膜作為有機電致發光器件的陽極，導電薄膜的表面功函數與一般的有機發光層的HOMO能級之間差距較小，降低了載流子的注入勢壘，可顯著的提高發光效率。

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