太陽能控制玻璃之氧化鎢塗層

太陽能控制玻璃就是透過高百分數入射光和較低百分數的總入射輻射能量(總太陽能熱量)的玻璃。生產這種玻璃的一種方法是在玻璃上沉積包含一層或數層各種材料的塗層，特別是金屬氧化物，例如氧化鎢，所述的層通常具有亞微米範圍內的厚度。

太陽能控制塗層的金屬氧化物是氧化鎢，用於玻璃上的金屬氧化物塗層的方便的沉積方法是線上化學氣相沉積，它包括在生產玻璃帶時把含金屬的化合物氣流和含氧氣體(經常是水)引入到熱玻璃帶上，氣流的各成分在熱玻璃表面一起反應並沉積金屬氧化物層。

對於塗敷過程，高塗層生長速度是希望的。為了在氧化鎢層的化學氣相沉積中獲得這種高塗層生長速度，這就需要鎢的化合物具有較高的揮發性(有助於獲得鎢化合物到玻璃表面的良好轉移)，和良好的熱穩定性(減少在到達玻璃表面之前的熱分解)。所以，研究人員將鹵氧化鎢或氯化鎢和氧源的氣流引入到玻璃基底表面上，在玻璃基底表面上沉積含氧化鎢的塗層。

1、在玻璃生產過程中，向移動的浮法玻璃帶上通過在槽中的層流化學氣相沉積工藝塗敷塗層，玻璃帶的塗敷寬度為10釐米，然後0使用水冷石墨頭塗敷器在玻璃上沉積氧化矽底層，

2、沉積氧化鎢塗層沉積：將攜帶有WOCl₄，相混合形成前體氣體混合物，補充5.5升/分鐘的氮氣，並且加入氧氣，稀釋前體氣體混合物，稀釋的前體氣體混合物通過設備管線輸送到反應器，該管線保持在200℃的溫度。稀釋的前體氣體混合物被引入到反應器內的加熱的玻璃基底上，導致氧化鎢塗層的沉積。

沉積過程持續執行時間為10或30秒，在沉積過程結束時，使鍍膜玻璃在氮氣中冷卻到室溫。通過標準光學和/或觸尖法測量氧化鎢塗層的厚度。氧化鎢層可以用其它塗層覆蓋，該其它塗層可以是金屬氧化物層，優選的是氟摻雜的氧化錫。因為氧化錫可以防止氧化鎢層退化，並且，如果該其它的層是氟摻雜的氧化錫，則具有提供太陽能控制塗層的附加優點，具有低發射率(高紅外反射)，並且無論氧化鎢層是否從鹵氧化鎢或氯化鎢或其它物質形成都可以使用。

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