氧化鎢薄膜靶材簡易燒結法

氧化鎢薄膜是一種被廣泛研究的功能材料。它有優異的短波透光性，禁帶寬度容易通過摻雜調節，通 過離子注入、紫外光子輻照、氣體分子吸附，其光學、電學特性會產生顯著的變化，因此在光學玻璃、平板顯示、光電轉換、電致變色、光致變色等領域有廣泛的應用前景。

氧化鎢薄膜的製備方法主要有：物理氣相沉積、化學氣相沉積、噴霧熱解、陽極氧化、電解沉積法、 溶膠-凝膠等各種方法，物理氣相沉積法是最常用的方法。毫無疑問的是，氧化鎢薄膜靶材的好壞對物理氣相沉積法的效果有著決定性的作用，燒結靶材也是一項重要的流程。

以藍色氧化鎢為中間氧化物，平均細微性15微米)，摻入1-5％聚乙二醇(PEG)作為成型劑，加入蒸餾水在球磨機中濕磨24-96小時， 乾燥過篩後，在100-200MPa壓力下壓制成型，脫成型劑後，在高溫爐內1110℃-1400℃下於空氣中常壓燒結60-180分鐘，隨爐冷卻，這樣制得的燒結藍色氧化鎢靶材，純度高於99％，密度大於6.80g/cm3(相 對密度≥94％)

這種較簡易的氧化鎢薄膜靶材製造方法，其特徵是不添加任何燒結助劑而使氧化鎢燒結緻密化，從而使這種燒結氧化鎢的純度高於99％，密度大於6.7g/cm3，由於其高純度和高密度，這種緻密的氧化鎢材料適合作為氧化鎢鍍膜用的靶材。

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