感测在蓝宝石衬底上外延生长的氧化锡气敏元件的特性

详细资料: 分类：蓝宝石长晶炉-钨制品新闻; 发布于 2014年1月24日星期五 11:19; 点击数：2803

外延氧化锡薄膜上生长用反应射频磁控溅射在蓝宝石衬底。使用从浦项光源（PLS）组成的2电子伏特的电子加速器， 4圆X射线衍射仪，原子力显微镜（AFM），透射电子显微镜（TEM）的3C2束线薄膜的微观结构进行了研究与抛光氧化铝的氧化锡薄膜比较。可以确认，该薄膜外延生长用的变型晶体结构的蓝宝石基板上。没有晶粒边界被陈列在外延薄膜的表面上。在氧化锡薄膜的吸附位的大部分似乎与气体发生化学作用。

外延的氧化锡气体传感器，使用铂加热器和电极，表现出高灵敏度的可燃气体和95%的酒精在2000 ppm或350 ℃的特定灵敏度该传感器也表现出良好的稳定性，小的基线漂移和快速反应和大约5和30秒的恢复时间，分别为。

这个实验证实了外延生长的氧化锡气体传感器的良好气敏特性。

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