对蓝宝石衬底生长由低压有机金属气相外延氮化镓成核层的替代显微

详细资料: 分类：蓝宝石长晶炉-钨制品新闻; 发布于 2014年1月23日星期四 11:24; 点击数：2655

主要是六方晶系氮化镓成核层通过低压有机金属气相外延生长在蓝宝石衬底上。氮化镓关于正常蓝宝石基板的单个晶粒的倾斜角度被确定为在从0°到5 °的范围内通过选择区域电子衍射。观察到氮化镓构成的立方相的一小部分被选择性地分布在晶界区和瞬时表面状态是建议在闪锌矿相的成核中发挥重要作用。由六方引起的从离子束辐射沉重的氮化镓立方相转变也注意到了。临界温度建议在形成主要是立方或六方氮化镓成核层存在。

研究了生长的氮化镓外延层的氮化镓缓冲层的生长速率的影响。人们发现这个增长速度在改善氮化镓薄膜的蓝宝石衬底上的质量和最佳的生长速率，存在产生最佳的晶体质量的关键作用。上生长的缓冲层与18.3纳米的最适生长速率的氮化镓薄膜/分钟具有539平方厘米/ VS的电子霍尔迁移率和大约2×108cm^-2的位错密度。氮化镓薄膜的品质，这些改进是通过促进横向生长模式的说明。

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