三氧化钨纳米气敏传感器

氮氧化物是大气污染中典型的有毒有害气体，能够导致酸雨和光化学烟雾等危害，给人们的生活造成了严重的破坏。为了遏制大气环境的进一步恶化，实时监测大气中的氮氧化物的含量已经迫在眉睫。而要实现准确检测，就需要一些高灵敏度、高选择性的气体传感器的支持。

氧化钨是一种宽禁带的N型半导体材料，它在气敏传感器领域有着广泛的应用，可广泛 应用于各种有毒有害气体的检测。然而和大多数金属氧化物半导体类似，氧化钨的工作温度较高(200℃以上)，这极大地增加了传感器的功耗。为此，降低氧化钨气敏材料的工作温度 成为了科技人员研究的重点。

随着材料科学的进步和仪器制造的日臻成熟，很多制备方法被用于合成不同形貌的纳米材料，例如，有学者采用溶剂热法在陶瓷片基底上制备了三氧化钨纳米棒束结构，克服现有技术中氧化钨气敏传感器对氮氧化物气体的敏感性低、工作温度较高的问题。氧化钨纳米棒束结构气敏材料制备方法包括以下步骤：

(1)采用陶瓷片作为基底，将陶瓷片基底依次放入丙酮溶剂、无水乙醇中超声振荡15-20 min，除去表面有机物杂质。随后将陶瓷片基底放入去离子水中清洗，冲洗完成后放入无水乙醇中，并置于红外烘箱中烘干；

(2)配置六氯化钨反应溶液，将1.19g六氯化钨溶于60ml无水乙醇中，磁力搅拌至全部溶解，形成黄色的溶液。之后在黄色溶液中加入5ml去离子水，最终形成蓝色的六氯化钨溶液；

(3)将步骤(2)中制备的六氯化钨溶液转移到反应釜中，密封，然后将反应釜置于恒温干燥箱中，在反应温度200℃下在氧化铝基底表面合成氧化钨纳米棒束结构，反应时间为5-11 h，反应完毕后，将反应釜自然冷却到室温；

(4)将步骤(3)中溶剂热产物离心分离，经去离子水和无水乙醇反复洗涤后，然后在60-80 ℃的真空干燥箱中干燥8-10h；

(5)将步骤(4)中获得的氧化钨纳米棒束粉末与体积比为1：2的无水乙醇和松油醇混合，超声混合2h，制得氧化钨纳米棒束基敏感材料浆料；

(6)将步骤(5)所述的氧化钨纳米棒束基敏感材料浆料涂覆在覆有叉指电极的氧化铝基片 上。之后将其置于马弗炉中进行热处理，热处理温度为300-400℃，保温时间为2h，升温速率为2-5℃/min，用以增加氧化钨纳米棒束的结晶性。

采用溶剂热法在陶瓷片基底上制备了三氧化钨纳米棒束结构，提供了一种具有高灵敏度、优良的稳定性和易于微电子工艺技术兼容的可在低温下工作 的氮氧化物气敏传感器。是一种制备具有较大的比表面积和较大的表面活性的氧化钨纳米棒束结构的方法。基于该氧化钨纳米棒束结构的气敏传感器可以实现对亚ppm至ppb级的二氧 化氮气体的高灵敏度、高选择性的快速响应。

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