制备氧化钨薄膜-电沉积法

制备氧化钨薄膜的方法有很多,根据薄膜的性质与制备方法及工艺条件,用不同方法制备的氧化钨薄膜在尺寸和晶型等方面有所不同,最常见的方法除了溶胶凝胶法、溅射镀膜法较为突出的还有电沉积法。

制备氧化钨薄膜-电沉积法,是指将钨的化合物的水溶液在电场作用下,通过电极放电在电玻璃基片上析出氧化钨薄膜的电化学反应过程。

首先将6.5g纯度为99.9%的金属钨粉溶解在40ml浓度为30%的双氧水水溶液和4ml蒸馏水组成的混合溶液中,由于反应放热,烧杯置于冷水浴中并不断搅拌,以保证体系温度不超过5℃。随后,把烧杯置于冰箱中,控制温度为2℃,静置12天,使钨粉完全溶解并除去双氧水得到淡黄色的澄清溶液。温室下取部分上述溶液于等量的无水乙醇溶液混合并搅拌得到黄色的液体,该液体加热至60℃15min-20min后采用标准的三电极沉积装置,-450mV的电压下沉积10min后在FTO导电玻璃基片上得到氧化钨薄膜。


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