采用真空蒸发法制备WO3薄膜

目前制备WO3 薄膜的方法有:蒸发法、溅射法、溶胶-凝胶法、电子束蒸发法、化学蒸气沉
积法、阳极氧化法、电沉积法、脉冲准分子激光沉积法、离子镀法等。由于其中有的方法技术复杂、工艺条件苛刻,因此其应用受到限制。目前使用较多的是蒸发法、磁控溅射法、溶胶-凝胶法等。其中溅射法具有稳定、方便、快速、薄膜均匀等特点,蒸发法也具有快速、稳定、薄膜纯度高的优点,但都存在仪器庞大、成本昂贵的问题,所以小型实验室多采用仪器简单、成本低、易大面积成膜的溶胶-凝胶法。
 
真空蒸发法的原理是在高真空条件和不同气氛(高纯惰性气体)中,对WO3进行加热蒸发,依靠气态WO3在惰性气体介质中冷凝形成微粒薄膜。Benjamin等采用此法成功研制成了WO3薄膜,基本过程为:在真空室中(~1.33×10-3Pa)加热WO3粉末,蒸气在基片上冷凝,即得WO3薄膜。薄膜的厚度及成膜速率可以通过膜厚监控仪监控。利用真空法制备WO3薄膜,加热源也发展为电弧加热、电子束加热、激光束加热等,其中电子束蒸发制备WO3薄膜得到了较好的发展。真空蒸发法制备的薄膜纯度高、颗粒分散性好,通过改变、控制气氛压力和温度,可制得颗粒尺寸不同的纳米薄膜。但该法成本高,不适宜制备大面积的薄膜。
 
 
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WO3纳米薄膜

纳米微粒是指粒度介于1~100nm之间的粒子。纳米微粒区别于宏观物体结构的特点是它具有较大的比表面积,并且表面原子数、表面能和表面张力随粒径的减小而急剧增加。由于表面原子数的增多,原子配位不满以及高的表面能,导致了纳米微粒表面存在许多缺陷。纳米微粒的这种结构特征使其表现出体积效应、表面效应、量子尺寸效应、宏观量子隧道效应,从而在磁性材料、电子材料、光子材料、高致密材料的烧结、催化、传感、陶瓷增韧等方面具有广泛的应用前景。纳米料材料已成为当今乃至21世纪材料领域最富有吸引力的热门研究课题之一。
 
近年来,纳米薄膜的制备技术得到了不断发展。纳米薄膜由于具有特殊的光、电、磁等性能而越来越受到人们的重视,特别是作为光学材料的研究发展很快。WO3是典型的电致变色材料,具有高的变色效率和相对较低的价格,一直以来是人们首选的无机电致变色化合物。Deb最早报道了WO3薄膜的电致变色特性并对其变色机理作了解释。许多研究工作表明,WO3薄膜尤其是非晶态氧化钨薄膜有着广阔的应用前景,可制备各种电致变色装置和灵巧调光窗(智能窗),实现对太阳光的智能调控,改善生存环境,节约能源。
 
WO3不仅是典型的电致变色材料,也是一种常用的气敏材料,具有气致变色特性。随着对环境保护意识的增强,人们已相继开发出了各种各样的气体传感器。WO3作为一种高灵敏度气敏材料,特别是作为氧化氮、硫化氢、氨气、氢气等的气敏材料的应用,近年来受到材料科学者的普遍关注。
 
 
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硬质合金刀具涂层种类

硬质合金刀具涂层与合金基体之间的结合强度是制约涂层硬质合金刀具使用寿命的关键因素。涂层必须与合适的基体相结合才能达到预期的性能。比如说,具有较高红硬性的耐磨基体通常为细晶低钴的碳化钨基合金,并通常加入少量的TiC、TaC和NbC,使基体具有更高的抗变形能力。

涂层硬质合金刀具已由早期的TiC(1969年)、TiN(1971年)、Al2O3(1972年)等单涂层发展到TiC-TiN,TiCN-TiN等双涂层及TiC-TiNAl2O3等三涂层,最多的可达13层涂层。近年还出现了金刚石涂层、立方氮化硼(CBN)涂层、软涂层(MoS、WS)以及硬软组合涂层,使涂层硬质合金刀具切削性能大大提高。硬质合金刀具涂层种类众多,主要是从单一化合物涂层朝着多元复杂化合物涂层发展,涂层层数也从几层增加到十几层的多层涂层,而多元复合涂层、多元复合纳米涂层、金刚石涂层、CBN涂层将是未来涂层硬质合金刀具的发展方向。

涂层硬质合金刀具


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硬质合金刀具梯度处理

硬质合金由难熔金属硬质化合物和金属粘结剂经粉末冶金方法而制成,其硬度(HRA)为89~94,远远高于高速钢;在540℃时硬度(HRA)为82~87,与高速钢常温时的硬度(HRA83~86)相当,同时还具有化学稳定性好、耐热性高等优点。目前供使用的刀具材料品种虽然很多,新型的刀具材料也不断出现,但硬质合金仍是很受欢迎的一种刀具材料。

为了尽可能防止由于裂纹扩展而导致的材料失效,并有利于获得高性能的硬质合金刀具材料可对基体进行梯度处理,使涂层基体表面区域形成缺立方相碳化物和碳氮化物的韧性区域,此区域的粘结剂含量高于涂层基体的名义粘结剂含量;当涂层中形成的裂纹扩展到该区域时,由于其良好的韧性,可以吸收裂纹扩展的能量,因而能够有效地阻止裂纹向硬质合金刀具内部扩展,提高硬质合金刀具的使用性能。

硬质合金刀具


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硬质合金刀具涂层方法

在硬质合金刀具基体上涂覆一层或多层硬度高、耐磨性好的金属或非金属化合物薄膜的涂层刀具,结合了基体高强度、高韧性和涂层高硬度、高耐磨性的优点,降低了硬质合金刀具与工件之间的摩擦因数,提高了刀具的耐磨性而不降低基体的韧性。因此,涂层硬质合金具有高硬度和优良的耐磨性,延长了刀具的寿命,这是切削刀具发展的又一次革命。

目前硬质合金刀具涂层的方法仍以化学气相沉积法(CVD)和物理气相沉积法(PVD)为主,这两种方法比较突出的问题是涂层与基体间的结合强度低,涂层容易剥落,这样就使涂层不能做得太厚,而涂层一旦被磨掉,刀具就会迅速磨损。近年来,已有一些新的涂层方法出现,如等离子辅助化学气相沉积(PACVD)、中温化学气相沉积(MTCVD)、溶胶-凝胶(Sol-Ge1)法、高速氧-燃气热喷涂(HVOF)、真空阴极电弧沉积(VCAD)等方法。在韧性较好的硬质合金基体上,通过CVD、PVD、HVOF等方法涂覆一层很薄的耐磨金属化合物,可使基体的强韧性与涂层的耐磨性相结合而提高硬质合金刀具的综合性能。

硬质合金刀具


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