切环法测量钨管残余应力
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- 分类：钨业知识
- 发布于 2015年6月18日 星期四 14:23
- 作者：Yahong
- 点击数：1515
切环法是测量钨管残余应力的方法之一，是通过测量切环前后的应变量来实现的，残余应力的平均分布状况由此可整体体现出来。
切环法步骤：
取沉积试样→沿轴向方向用线切割试样获得切环→去除沉积基体→沿轴向方向切割钨管获得切环→真空退火处理（温度为1200℃、保温时间为1h）获得切环
去除沉积基体和沿轴向方向切割后所得的钨管的切口显著减小，这说明在后续冷却过程中，沉积基体的收缩使得钨管内产生很大的残余应力，该残余应力存在于钨管的圆周方向。残余应力的大小随沉积温度的升高而降低，随沉积钨管的管径的增大而降低。
经真空退火处理后的环状切口直径大小的变化不明显。
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CVD钨管沉积速率的影响因素
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- 分类：钨业知识
- 发布于 2015年6月18日 星期四 14:21
- 作者：Yahong
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CVD钨管沉积速率的影响因素主要有以下几点：
还原反应的速度；
还原反应：WF6 + H2 → W + 6HF (125Kj/mol)
沉积温度：500℃，600℃，700℃，800℃
随着沉积温度的升高，还原反应的速度加快，也就是说，W原子在单位时间内的产生量增大。
当沉积温度在700℃时，WF6差不多已经完全消耗掉了。
当沉积温度在700℃-800℃时，CVD钨管沉积速率的变化趋势不是很明显。
WF6 和H2 以及 HF的扩散运动的速度；随着沉积温度的升高，WF6 、H2 和 HF的扩散速度加快趋势明显。
W原子沿着沉积表面的扩散运动的速度；随着沉积温度的升高，W原子的扩散速度明显加快。
结晶速度。
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CVD钨管工艺参数对沉积速率的影响
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- 发布于 2015年6月18日 星期四 14:17
- 作者：Yahong
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CVD钨管工艺参数：
反应气体：WF6和H2 的通入量和配比保持不变
沉积温度：500℃，600℃，700℃，800℃（加热方式不变）
沉积基体：紫铜管，相同管径
还原反应：WF6 + H2 → W + 6HF (125Kj/mol)
CVD钨管工艺参数对沉积速率的影响：
由CVD钨管实验的结果分析可以看出以下几点：
CVD钨管的沉积速率随着沉积温度的升高而加快。
当沉积温度低于500℃时，还原反应的速度非常缓慢，钨管沉积膜层的生长速率很低。
当沉积温度在500℃-700℃时，CVD钨管的沉积速率的提高较明显。
当沉积温度在700℃-800℃时，CVD钨管的沉积速率的加速较缓慢。
若是沉积温度超过800℃，所获得的钨管沉积层组织结构很疏松，不存在实际的使用价值，所以，沉积温度宜控制在500℃-700℃。
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蓝钨到γ-氧化钨的还原过程
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- 发布于 2015年6月18日 星期四 14:18
- 作者：xiaoshan
- 点击数：1723
了解蓝色氧化钨（蓝钨）的相成分对于制取性能良好的钨粉具有一定的影响，根据相成分的探讨，在选取不同原料和控制工艺上能更加的明确，能制取所需的性能良好的钨粉。蓝钨在还原过程中主要相成分是β-氧化钨（WO2.9）,γ-氧化钨（WO2.72）、二氧化钨（WO2）和钨粉。
首先探讨的是从蓝钨到γ-氧化钨的还原过程。根据研究数据可知，蓝钨的主要相成分β-氧化钨表面粗糙，有裂痕。随着还原过程的进行β-氧化钨的氧原子减少和空位的增加，β-氧化钨向γ-氧化钨转变。生成的γ-氧化钨表面粗糙程度进一步增大，裂痕也进一步变大，颗粒形貌为针状和短棒状，其排列不规则，但是这些结构有利于还原反应的进行。γ-氧化钨的颗粒形貌取决于还原温度、升温速度、料层厚度等因素。
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蓝色氧化钨的粒度分布及松装比重
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- 发布于 2015年6月18日 星期四 14:14
- 作者：xiaoshan
- 点击数：1715
通过SEM观察蓝色氧化钨的粒度和松装比重发现，焙解温度在400~500℃之间，蓝钨的颗粒均匀性较好。当焙解温度在400~500℃焙解温度下，可获得费氏平均粒度为11.9~12.0um，松装比重为2.49~2.50 g/cm2的蓝钨。当焙解温度在400℃时，蓝钨的费氏平均粒度是12.0um，松装比重是2.50g/cm2。在焙烧温度为450℃时，费氏粒度为11.9um，松装比重,是2.50 g/cm2。而在焙解温度在500℃时，费氏粒度为12.0um，松装比重为2.49 g/cm2。经以上数据可以发现，焙解温度在400~500℃之间蓝钨的粒度分布曲线趋势相同，均匀性较好。在每个温度范围内，粒度分布在一个区域内波动，各个粒度分布主要是在10~40um之间，且松装比重的波动也不是很大。同时不同的温度下，蓝钨粒度的平均直径也有相应的影响。温度越高蓝钨的粒径也会有所增大，但是影响不明显。
|
温度（℃） |
400 |
450 |
500 |
|
费氏平均粒度（um） |
12.0 |
11.9 |
12.0 |
|
松装比重（g/cm2） |
2.50 |
2.50 |
2.49 |
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