三氧化钨薄膜的透光性（1）

详细资料: 分类：钨业知识; 发布于 2015年6月10日星期三 16:40; 点击数：1372

WGZ-8双光束紫外-可见分光光度计进行薄膜的透光性分析,入射光波长范围为200~800nm,透光率为0%~150%。运用溶胶-凝胶法制备的三氧化钨薄膜的透射光谱显现出最大透光率和相应波长分别为:85.3%,556nm,波峰和波谷在350~600nm波长范围内,波峰波谷处的透光率差值为4.4%,在小于300nm的波长范围内透光率几乎全部为零。而运用磁控溅射法制备三氧化钨的透射光谱其中最大透光率和相应波长范围分别为:90.1%,572~582nm,波峰波谷在350~650nm波长内,波峰波谷处透光率差值约为21.2%。比较两条谱线可以看出两种方法制备的三氧化钨薄膜的透光率差异不大。

磁控溅射法制备的薄膜当温度在450℃时,薄膜的透光率平均下降约8%~10%,峰形和峰位几乎没有变化。当退火温度在500℃时,薄膜的透光率平均下降约8%,峰位和峰形没有多大变化。

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