鎢鈦合金靶材製造工藝

鎢鈦合金靶材由於具有低的電阻係數、良好的熱穩定性能和抗氧化性能，已被成功地應用於Al、Cu與Ag佈線的擴散阻擋層，並且在半導體行業和太陽能行業濺射鍍膜方面得到了廣泛的研究和應用。

隨著電子工藝的大規模需求，鎢鈦合金靶材製造工藝也逐漸成為了廣泛研究的熱點，通常，製備鎢鈦合金的流程大致如下：

 1、.將費氏平均細微性為1.0μm～2.8μm的鎢粉、費氏平均細微性為40μm～60μm 的鈦粉和費氏平均細微性為20μm～60μm的氫化鈦粉，按鎢粉∶鈦粉∶氫化鈦粉為 (7.0～9.0)∶(0.5～1.5)∶(0.5～1.5)的品質比置於三維混料器中，在轉速 為40r/min～70r/min條件下混合1.0h～1.5h，得到鎢鈦合金粉末；

2、將鎢鈦合金粉末置於真空熱壓燒結模具內，用不銹鋼板壓實粉末，讓其充分填充模具；

3、.把填充好鎢鈦合金粉末的模具放入真空熱壓燒結爐內，並及時抽真空；

4、然後，升溫至500～1000℃並加壓至280噸，待加壓完成後再升溫至1400 ℃～1430℃，保溫0.5～1.5小時；

5、然後，調節真空熱壓爐功率為“0”，隨爐冷卻至室溫後方可出爐，得到鎢鈦合金靶的真空熱壓燒結毛坯；

6、將經切割後的真空熱壓燒結毛坯置於真空退火爐內，升溫至800℃～ 1000℃，退火0.5h～1.5h，得到退火後的真空熱壓燒結鎢鈦合金靶；

7、.將退火後的真空熱壓燒結鎢鈦合金靶放入超聲波清洗槽內，加適量的洗滌劑及純淨水，清洗1～2小時後，得到符合要求的鎢鈦合金靶。

採用上述鎢鈦合金靶材的製備方法，具有粉末混合均勻，製備過程中不易氧化，雜質含量低，製備出的鎢鈦合金靶密度高的特點，可以滿足現代微電子工業的需求。

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