鉭摻雜氧化鎢可以用於製備電致變色薄膜，而鉭摻雜的氧化鎢電致變色薄膜可以採用磁控濺射方法製備得到，以改善氧化鎢電致變色薄膜的電化學迴圈穩定性。

三氧化鎢可以用於製備電致變色薄膜，最終以電致變色玻璃即智慧窗的形式應用到建築玻璃上，起到節能降溫的作用。

結晶態三氧化鎢膜可以通過磁控濺射沉積再通過熱處理獲得。通過磁控濺射沉積獲得的是非晶態三氧化鎢膜，在空氣中分別加熱200℃，250℃，300℃，350℃及400℃，並保溫30min進行熱處理。隨著熱處理溫度的提高，非晶態三氧化鎢膜的電致變色性能下降。當熱處理溫度高於350℃時，非晶態轉變成結晶態。

氧化鉬摻雜氧化鎢電致變色薄膜的著色態和漂白態的顏色都比純氧化鎢薄膜深。這是因為MoO3本身是一種變色特性類似WO3的電致變色材料，其著色態呈藍紫色，漂白態呈黃色。而純氧化鎢薄膜的著色態呈藍色，漂白態幾乎無色透明。