摻鋰氧化鎢電致變色薄膜可以高氯酸鋰為鋰源進行鋰摻雜，採用溶膠凝膠法中鎢的過氧化鎢法製備得到。專家通過下述實驗研究鋰摻雜後三氧化鎢薄膜性能的改變，並對摻雜量進行討論。

鋰摻雜三氧化鎢薄膜相對於三氧化鎢薄膜而言，其薄膜的結構、色變回應性能得到了很大的提升。

較之WO3薄膜，Li摻雜三氧化鎢薄膜的性能得到改善——薄膜變得緻密光滑，電荷面密度增大，變色前後的光吸收差值可達53%。採用高氯酸鋰摻雜之後，並沒有改變整個WO3薄膜的晶化溫度，仍然以220℃為最佳熱處理溫度，且WO3薄膜的平均厚度在270nm左右。

有專家對鉭摻雜氧化鎢電致變色薄膜的表面形貌進行觀察，發現其SEM圖如下圖所示，其中，（a）、（b）、（c）、（d）、（e）、（f）、（g）分別為未摻雜Ta、摻雜5%Ta、摻雜10%Ta、摻雜15%Ta、摻雜25%Ta以及摻雜35%Ta的WO3薄膜。