殘餘應力對鎢管力學性能的影響

採用CVD（化學氣相沉積法）製備鎢管，沉積溫度控制在500℃-700℃左右。

採用切環法測量鎢管的殘餘應力的結果表明，鎢管沿圓周方向存在殘餘應力。殘餘應力的大小隨鎢管管徑的增大而降低；隨沉積溫度的升高而降低。該結果與硬度測試結果一致。

採用X射線衍射法測量結果顯示，鎢管外表面沿管徑方向的殘留應力為殘留拉應力，沿管切向、軸向的殘留應力為殘留壓應力。且經過退火處理後的鎢管，其表面殘餘應力值減小。在經過去應力退火處理後，沉積層表面沿切向、軸向的殘餘壓應力會轉變為殘餘拉應力。這將導致在某些工藝條件下，沉積鎢管在後續使用過程中會產生裂紋。

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